Occasion CANON FPA 5000 ES3 #9147053 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES3 est un pas de plaquette, un équipement de lithographie semi-conducteur de pointe utilisé pour les procédés de photolithographie dans la fabrication de circuits intégrés. Il offre une variété de caractéristiques de performance d'imagerie, y compris l'alignement de masque de haute précision et l'alignement de plaquettes exposées. CANON FPA 5000ES3 utilise un système d'exposition de type pas à pas pour visualiser les motifs de puce sur la plaquette. L'appareil dispose d'une lentille de 254 nm avec une ouverture numérique de 0,52, d'une machine d'éclairage entièrement réfléchissante et d'un illuminateur à champ plat. L'outil est capable d'une résolution efficace de 0,35 μ m (2400 points/pouce). FPA-5000 ES3 possède un grand capteur de 5 mégapixels qui peut détecter les marques d'enregistrement zoomées optiquement, et un atout d'alignement trinoculaire avec un autocollimateur. Sa fonction de distorsion d'image corrige toute imprécision de la plaquette pour garantir un rendement maximal. Il est également équipé d'un modèle de focalisation automatisé, qui facilite l'imagerie précise et cohérente. En outre, sa construction en quartz-verre assure une étape de haute précision et des opérations répétées, et il supporte l'auto-centrage de la plaquette. CANON FPA-5000 ES3 est conçu pour traiter une variété de dimensions de plaquettes, y compris 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm et 300 mm. Il utilise le logiciel d'acquisition P-MBE pour améliorer ses processus. P-MBE contrôle le chargement et le déchargement des plaquettes, l'exposition, la métrologie optique et d'autres processus pour optimiser les rendements. L'équipement est conçu avec des mécanismes de sécurité tels que plusieurs rideaux de protection lumineuse pour assurer la sécurité du personnel. Son logiciel de contrôle utilise également un système intégré de surveillance des processus pour alerter le personnel de tout dysfonctionnement de l'unité. CANON FPA 5000 ES 3 est équipé de logiciels avancés pour améliorer le débit et permettre des résultats d'imagerie reproductibles. La machine est également personnalisable pour permettre aux utilisateurs de peaufiner leurs paramètres d'imagerie. Enfin, il dispose d'une interface conviviale avec de puissantes capacités de gestion des processus. Le FPA 5000 ES 3 est la solution idéale pour les procédés de lithographie avancés, car il offre des performances fiables et des sorties de qualité.