Occasion CANON FPA 5000 ES3 #9200130 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES3 est un pas de tranche semi-conducteur de pointe conçu pour répondre aux besoins d'une large gamme de besoins de production de plaquettes de circuit intégré (IC). Cet étage présente une taille de substrat de 300mm, offrant un débit élevé pour une sortie globale de plaquette augmentée. Avec des tailles de champ de balayage allant jusqu'à 18mm x 18mm, CANON FPA 5000ES3 offre une imagerie haute résolution pour des motifs de circuits complexes et de haute densité. Ceci est particulièrement bénéfique pour la réalisation de dispositifs à logique mixte et de conceptions de mémoire avancées. L'équipement optique avancé de l'étape dispose d'une plage de grossissement de colonne optique de 5x, 10x et 20x, avec 1,35 nm de longueur de ligne minimale réalisable à la configuration de colonne la plus longue. FPA-5000 ES3 a un contrôle avancé de la profondeur de focalisation (DOF) avec une profondeur de focalisation de ½ microns grâce à ses algorithmes sophistiqués de double Monte Carlo. Ce stepper est également conçu pour une disponibilité et une productivité maximales. Il dispose d'un système de panne « sans perte de temps » avec un capteur d'éclairage et d'ombre « de suivi », qui permet à une autre opération de prendre sa place en cas de dysfonctionnement. Le stepper comprend une série de capteurs de vision pour l'alignement précis des plaquettes et la correction du temps d'exposition, ainsi qu'une unité d'inspection en ligne supplémentaire pour détecter les défauts latents au cours du processus d'exposition. CANON FPA-5000 ES3 est capable de traiter plusieurs types de plaquettes telles que silicium sur isolant (SOI), silicium sur verre (SOG), ou toute combinaison d'entre elles. En outre, le stepper présente des caractéristiques qui protègent les plaquettes sensibles, par exemple, l'isolation par vibration avancée de la tête d'exposition, ce qui empêche la défaillance induite par les vibrations lors de l'exposition. Cet équipement est conçu avec une facilité d'entretien et un entretien rapide à l'esprit. L'accès direct à tous ses composants et aux pièces facilement interchangeables permet une économie de temps d'entretien rapide et fiable jusqu'à 50 %. FPA 5000 ES3 est un pas de plaquette plus avancé pour les exigences de production de plaquettes les plus exigeantes et avancées. Avec sa machine optique de pointe, son contrôle DOF avancé, sa capacité à traiter plusieurs types de plaquettes et ses fonctionnalités d'entretien, le FPA 5000 ES 3 est un excellent choix pour les installations de production d'IC.