Occasion CANON FPA 5000 ES3 #9200131 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES3 wafer stepper est un équipement de production de lithographie optique entièrement automatisé conçu pour répondre aux exigences de la fabrication moderne de puces à haut rendement. Équipé d'une optique d'imagerie avancée, d'un éclairage NA élevé et de systèmes de contrôle sophistiqués, le ES3 peut modeler même les circuits les plus complexes sur des tailles de substrat standard jusqu'à 150 mm (6 pouces). CANON FPA 5000ES3 utilise un système de projection d'images multi-champs pour exposer rapidement l'ensemble de la plaquette à sa source lumineuse laser à diode rouge. Les images peuvent être programmées et rappelées d'une bibliothèque interne, ou importées de l'extérieur. Les algorithmes de couture multidimensionnelle assurent une couverture sans faille des plaquettes. Fonctionnant jusqu'à 5 microns de résolution, le ES3 peut faciliter différents niveaux d'exposition de la taille du réticule au sous-réticule, donnant aux ingénieurs de production le plus haut niveau de flexibilité. FPA-5000 ES3 peut exactement aligner et positionner chaque plaquette, de sorte que des lignes et des formes complexes peuvent être réalisées avec précision à n'importe quel angle par rapport aux bords de la plaquette. Avec l'unité embarquée d'alignement du champ de franges à 6 axes, des processus tels que l'alignement des yeux du chat, la couture pas à pas ou le masque peuvent tous être réalisés avec une grande précision. Le ES3 est capable d'exposer des plaquettes avec différents matériaux, et peut s'adapter à différents formats de films tels que la résistance au ton positif, la résistance au ton négatif, la lithographie UL directe, la métrologie sur plaquette et l'implantation ionique directe. Deux étages de plaquettes sont prévus pour un traitement continu de plusieurs plaquettes simultanément. La machine de contrôle entièrement automatisée de FPA 5000 ES3 est complète avec des compteurs de diagnostic, des systèmes de surveillance, un ordinateur central pour le stockage et la sortie de données, et des capacités de diagnostic de défaut en ligne. En outre, un outil E/S réseau facilite le fonctionnement à distance et la collecte de données de n'importe où sur le plancher de production. Toutes ces fonctionnalités et fonctionnalités font que CANON FPA 5000 ES 3 peut fournir une résolution maximale de 5,0 microns, une grande fenêtre de 5 pouces de bronzage, et une optique parfaite mise en place. En outre, l'outil de contrôle polyvalent, l'automatisation robotique et la gamme de formats d'exposition permettent à l' ES3 de traiter rapidement et avec précision les plaquettes au plus haut niveau, ce qui en fait la solution parfaite pour la fabrication de puces à haut rendement.