Occasion CANON FPA 5000 ES4 #9267141 à vendre en France
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Vendu
ID: 9267141
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Scanner, 12"
Illumination
Scan illumination
Z-Spin
Wafer type: Notch
CYMER ELS 7300 KrF Scanner laser, 248 nm
Laser
Right side console
Surface illumination (Standard): 36000 W/m²
R-Type inline direction
Reduction ratio: 1:4
Resolution: 120 nm
Alignment accuracy: 20 nm
Throughput:
AGA (8) Shots 110 wafer/hour
Step pitch: 26 nm x 33 mm
(64) Shots, 12"
Exposure amount: 300 J/m²
(3) Lighting NA:
0.80/σ0.80 Conv
0.80/σ0.40 Conv
0.80/SiB2
Projection lens NA: Variable 0.55-0.80
Exposure range (scan field): 26 x 33 mm
Wafer alignment: AGA (Off axis scope)
Reticle library: (7) Sheets
Options:
PPC Unit, 6"
Reticle barcode reader (2D), 6"
Signal tower
Relay FOUP unit
2003 vintage.
CANON FPA 5000 ES4 est un pas de plaquette dédié conçu pour les besoins de lithographie dans la production d'appareils. C'est un équipement très précis et fiable qui maximise la cohérence du dispositif dans le processus de fabrication. Grâce à la technologie de pointe de contrôle de mouvement et d'optique, CANON FPA-5000 ES4 offre des fonctionnalités avancées, telles que l'imagerie haute résolution, la capacité de traitement parallèle et la compression thermique minimale de la plaquette. Ensemble, ces caractéristiques améliorent considérablement la stabilité et la répétabilité des processus. FPA-5000 ES 4 stepper est composé d'un corps principal, d'un scanner, d'une source de réseaux de diodes laser, d'une optique d'imagerie et d'un étage d'ultra-précision. Le corps principal abrite tous les composants du système, et le scanner est utilisé pour créer le motif désiré. Les optiques d'imagerie de cette unité sont haut de gamme, offrant la plus haute résolution disponible. De plus, la source de réseau de diodes laser fournit la puissance maximale autorisée pour une longueur d'onde d'exposition de 830 nm. Pour garantir la précision, le stepper est équipé d'un mécanisme d'étage d'ultra-précision CANON. Cette machine complexe comporte deux axes orthogonaux en U qui sont entraînés par des moteurs linéaires et fournissent un outil de positionnement très précis. De ce fait, l'étage assure le meilleur alignement possible du motif avec la plaquette, ce qui conduit à des performances de processus supérieures en termes de recouvrement, de focalisation et de correction de distorsion. En outre, FPA-5000 ES4 stepper dispose d'une large gamme de logiciels, d'automatisation et d'outils d'acquisition de données. Cela permet une production et une automatisation plus efficaces du processus de lithographie. Pour assurer la sécurité, l'actif intègre plusieurs interactions conditionnelles de sécurité, y compris les capteurs optiques, le contrôle de mouvement et les interactions de puissance. FPA 5000 ES4 stepper est un modèle fiable et avancé conçu pour offrir des performances et une stabilité inégalées pour les besoins de lithographie dans la production d'appareils. Avec sa technologie haut de gamme, y compris la commande de mouvement, l'optique et les mécanismes de scène, cet équipement fournit un haut degré de précision et de contrôle des processus, conduisant à une cohérence supérieure de l'appareil dans la production.
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