Occasion CANON FPA 5000 ES4 #9282327 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES4 wafer stepper est un équipement avancé de lithographie à semi-conducteurs. Conçu pour être utilisé dans les usines de fabrication de semi-conducteurs, cet étage utilise des optiques de projection avancées et des réservoirs pour supporter une grande variété de formes et de tailles de plaquettes. Sa conception ultra basse réflectivité laser garantit une qualité d'image supérieure et une précision d'imagerie améliorée, tandis que sa vitesse de traitement extrêmement rapide réduit les temps de cycle, augmente l'efficacité du débit et réduit les coûts globaux. CANON FPA-5000 ES4 offre d'excellentes capacités de modélisation grâce à son ouverture numérique exceptionnelle (NA) de .83, qui permet une grande profondeur de champ et une meilleure latitude de processus. Sa grande taille de champ de 9 "(228,6 mm) offre une flexibilité pour le traitement des plaquettes, tandis que son temps d'exposition de 1/6 milliseconde assure des niveaux de résolution et de débit élevés pour des caractéristiques plus petites jusqu'à 0,33µm. Le pas assure la répétabilité grâce à sa précision sur l'axe réduit équipement de direction, assurant la précision de l'alignement de la plaquette sur l'optique de projection. De plus, le système comprend également une unité de vide intégrée pour réduire le chargement et la manipulation des substrats minces. La machine dispose d'une multitude d'options et de capacités d'automatisation, telles qu'un chargeur et un stockeur intégrés de plaquettes, ainsi que la récupération et le mouvement entièrement automatisés de plaquettes. Son étage de réticule de levage avancé offre une gamme de fonctions d'alignement pour améliorer la vitesse et la précision du placement du réticule. L'outil est également facilement évolutif avec une gamme de composants supplémentaires en option, tels qu'un scanner OCR Air qui offre des mesures de haute précision sur une gamme de tailles de plaquettes. Enfin, FPA-5000 ES 4 dispose de dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un arrêt d'urgence pour arrêter le fonctionnement laser en cas d'incident imprévu. Il comprend également une surveillance puissante des conditions électriques, mécaniques et environnementales dans et autour de l'étape, offrant une expérience de traitement sûre et très fiable. En outre, l'actif est certifié pour une utilisation mondiale, répondant à toutes les normes de sécurité applicables.