Occasion CANON FPA 5500 iZ+ #293825879 à vendre en France
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ID: 293825879
Style Vintage: 2005
Stepper
Illumination system
Reticle preset
Wafer stage
Air control
Reticle library
Reticle handler
Wafer handler
Control board
C-Rack
Lamp house
Controller panel
PP Box
TDK TAS300 FOUP
RASCO TBW-CD160 Compact chamber
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZ + est un équipement de pas de plaquettes haute performance, offrant des performances exceptionnelles et la fiabilité pour la production de photolithographie avancée. Il s'agit du dernier modèle de CANON FPA Series, qui s'appuie sur les performances exceptionnelles d'imagerie et la qualité d'image des modèles précédents. Il est doté de la résolution la plus élevée au monde, de la répétabilité des prises de vue et d'une faible profondeur de focalisation parmi ses pairs. CANON FPA-5500IZ + dispose d'un nouvel illuminateur à deux étages offrant des performances d'imagerie avancées et une précision et une répétabilité de production inégalées. Il dispose d'un système unique de stabilisation d'image combiné à une unité d'éclairage double pour assurer un transfert fiable des motifs. La machine est extrêmement efficace en raison de sa trajectoire avancée, la forme, et réticule les deux étages. Avec un traitement de fond efficace, l'outil réduit le temps de retournement pour la production de substrats. FPA 5500 IZ++ est livré avec une taille d'image agrandie de 400mm, en hausse par rapport aux modèles précédents. Il augmente également la précision APC (Auto Pattern Centering), réduisant considérablement les pertes de temps et les substrats. Son atout lithographique avancé est conçu pour assurer un transfert parfait de résolution spatiale et de placement de motif. CANON a conçu un « modèle d'élimination de l'ozone » qui prévient les effets néfastes des dépôts d'ozone sur la lentille en raison d'une exposition prolongée. Il en résulte également une réduction des aberrations comme les éruptions et les fantômes, ce qui conduit à un processus d'imagerie amélioré. FPA 5500 iZ + dispose d'un équipement d'électro-stabilisation unique, empêchant les fluctuations dans la zone de l'image et obtenant des performances d'imagerie cohérentes. Son traitement intégré comprend des programmes comme Extended Focus, Just Focus et Field Feedback, augmentant la vitesse de développement et améliorant les performances globales du système. En plus de ses impressionnantes spécifications techniques, CANON FPA 5500 IZ++ est rapide, dédié et fiable. Sa stabilité d'éclairage et sa stabilité mécanique assurent en outre une stabilité du faisceau et une résolution d'image supérieures. Le FPA-5500IZ + est un excellent choix pour ceux qui recherchent un pas de plaquette haute performance pour la production.
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