Occasion CANON FPA 5500 iZ #9235467 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZ est un pas de plaquette avancé, conçu pour obtenir des performances d'imagerie exemplaires et la précision. Cet équipement est un pas refroidi par gaz azoté qui utilise des technologies de lithographie à ultraviolets profonds (DUV) pour traiter des micropuces et d'autres dispositifs semi-conducteurs. CANON FPA 5500IZ dispose d'un système d'imagerie principal très précis comprenant une conception multicouche, une unité d'éclairage à haut rendement et un codeur rotatif. La conception multicouche absorbe partiellement la lumière de fond afin d'améliorer le contraste des bords tandis que la machine d'éclairage à haut rendement aide à relayer les niveaux d'imagerie alternée corrects. Pendant ce temps, le codeur rotatif fournit des informations de position précises. FPA-5500 IZ dispose également de 0,0050µm précision de cellule avec 0,00024nm précision de ligne, d'où un niveau élevé de précision de placement de motif. Il offre également une uniformité CD de 0,5 nm et une précision d'image de 0,0015µm pour une excellente performance d'imagerie. De plus, l'optique d'éclairage de l'outil utilise une optique de réduction 5x avec une ouverture numérique de 0,60. L'imagerie haute performance et la précision de FPA 5500IZ sont encore améliorées par son étalonnage automatisé, qui minimise les erreurs de réglage. Il est également équipé d'un certain nombre d'autres contrôles externes, tels qu'un atout accéléré qui permet une correction rapide de l'exposition et de l'ombrage, un alignement automatique des motifs, et un modèle autofocus sur l'axe pour maintenir une focalisation optimale de l'imagerie. De plus, l'équipement comprend une réduction de la charge en particules due au refroidissement de l'air, ainsi qu'une filtration efficace de l'air avec des particules aussi petites que 0,1 µm. La conception globale de FPA 5500 iZ est durable et fiable, avec une basse pression (6 Pascals) dans sa chambre. En offrant des performances d'imagerie exceptionnelles, la précision et la fiabilité, ce système est un choix idéal pour ceux qui ont besoin de créer des images complexes avec une précision exigeante.