Occasion CANON FPA 5500 iZ #9247811 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZ est un pas de plaquette idéal pour la fabrication de composants semi-conducteurs. Il dispose de la technologie de contrôle des écarts de précision (PGCT) qui est conçu pour augmenter la précision, la vitesse et le débit tout en conservant la capacité de produire les plaquettes de la plus haute qualité. Cette machine est capable d'effectuer des opérations d'étape à des résolutions allant jusqu'à 0,1 µm pour des résistances à la fois positives et négatives. En outre, la machine a un rendement élevé de 1000 wafers/h, ce qui la rend bien adaptée à la production commerciale. Le stepper est construit avec un étage 4 dimensions qui dispose d'un moteur inchworm intégré pour la manutention lisse et précise des plaquettes. Cela permet d'augmenter la précision de positionnement de l'équipement d'alignement et d'assurer des performances constantes sur un certain nombre de plaquettes. De plus, la table de plaquettes est équipée d'un système de régulation de température et d'une unité de surveillance de température afin de mieux assurer l'homogénéité des plaquettes. Cette machine utilise une lampe de mercure d'ultra-haute pression de 5 kW avec un taux d'exposition de jusqu'à 2.9mJ/cm2. Ceci permet de modeler la résolution de 0,3 μ m à 10 μ m, avec des détails complexes obtenus avec la technologie de lentille conforme ainsi que l'amélioration de la gravure des couches peu profondes. CANON FPA 5500IZ offre également une détection automatique de perte d'espaceur, permettant de détecter automatiquement les défaillances de perte d'espaceur au cours d'un seul cycle. Cela augmente considérablement la fiabilité et diminue les risques d'erreurs dues à la surveillance humaine. Cet outil dispose d'un Cross Stage XY haute résolution, spécialement conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de positionnement précis et de haute répétabilité. Il est équipé d'un codeur à anneau intégré, d'une mesure chromatique absolue et d'une conception de détente en mouvement angulaire, offrant la plus grande précision de positionnement de la tige de la plaquette. FPA-5500 IZ dispose également d'une fonction de réglage automatique de zone pour configurer rapidement des paramètres d'exposition uniformes. Il s'agit d'une fonction avantageuse qui simplifie le processus d'installation et permet une exposition rapide des plaquettes qui ont soit une conception mixte, soit un motif complexe. Le FPA 5500 iZ est également soutenu par un service après-vente supérieur grâce au réseau de services CANON, qui comprend un actif de gestion en ligne, un soutien technique et technique de personnel qualifié, et une gamme d'options supplémentaires telles que le dépannage à distance. En conclusion, FPA 5500IZ est un modèle avancé de pas de plaquettes qui offre d'excellentes performances et fiabilité. Avec sa grande vitesse et sa grande précision, il est bien adapté à la production de motifs de haute précision et complexes dans l'industrie des semi-conducteurs.