Occasion CANON FPA 5500 iZ+ #9247812 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZ + wafer stepper utilise la lithographie semi-conductrice avancée pour l'imagerie à haut débit, haute résolution. Sa vision multi-longueurs d'onde permet à l'équipement d'effectuer un alignement complexe et un balayage superposé lors de la réalisation de couches multiples. En outre, l'iZ + dispose d'un réseau avancé de sous-systèmes optiques qui permettent la correction des motifs et une large gamme dynamique. Son scanner Deep Ultraviolet (DUV) est capable de résoudre des caractéristiques de 0,18 micron. CANON FPA-5500IZ + est une unité de projection laser à système de mesure de position (LP) avec une machine de focalisation automatique, conçue pour une fabrication de haute précision et à haut débit. Il est équipé d'une lentille 5 pièces de 9 pouces de diamètre pour le laser DUV, permettant à l'outil d'atteindre une haute résolution d'image et un champ de vision (FOV) de 150 mm. Le LP peut mesurer à travers un grand champ de vision, ce qui lui permet d'être utilisé avec une précision d'alignement précise et répétable pour la production et l'inspection des plaquettes d'appareil. FPA 5500 IZ++ wafer stepper dispose de nombreuses fonctionnalités pour l'imagerie de haute précision. Il est équipé d'un correcteur d'aberration chromatique (CAC) pour l'imagerie claire, et d'un actif de balayage piézo-piloté qui compense la dérive positionnelle du CAC. De plus, un filtre optique multi-longueurs d'onde aide à détecter les différences subtiles entre les motifs. De plus, pour éviter toute distorsion, le modèle de reconnaissance linéaire de motifs permet un alignement précis. Il est également équipé d'un traitement interne du signal qui réduit le bruit et améliore la précision de la reconnaissance des motifs. Le FPA-5500IZ + peut aussi rapidement basculer entre différentes couches de lithographie à l'aide d'un appareil de séparation de faisceau sur le laser DUV. Cela permet un temps de traitement rapide et un débit élevé avec un temps d'arrêt minimal. De plus, la tourelle de rotation à 360 degrés offre un meilleur débit pour plusieurs positions. Il permet au système de commuter rapidement des emplacements de recouvrement pour un placement plus précis. CANON FPA 5500 IZ++ offre également une fonction auto-mosaïque intégrée, lui permettant de produire des appareils multicouches de haute qualité. Cette caractéristique crée une mosaïque d'images pour recouvrir le substrat, sans nécessiter un réalignement manuel de la plaquette. En outre, il est capable de manipuler jusqu'à 6x réticules pour une exposition parallèle, et peut images jusqu'à 8x expositions dans un seul travail. Dans l'ensemble, FPA 5500 iZ + wafer stepper est une unité fiable et flexible, fournissant une imagerie de haute précision avec des distorsions minimisées, pour un haut débit et des sorties de dispositifs multicouches complexes. Avec la large gamme de caractéristiques qu'il offre, il est un choix idéal pour produire des appareils rapidement et avec précision.