Occasion CANON FPA 5500 iZ #9251789 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZ est une machine de lithographie d'immersion développée et fabriquée par CANON qui est conçue pour la fabrication précise et la production de masse de plaquettes semi-conductrices. CANON FPA 5500IZ est un équipement de lithographie d'immersion qui utilise une source de lumière UV de haute puissance, une optique de pointe, des produits chimiques spécialisés et une mécanique de balayage pour exposer des motifs sur une plaquette, créant des motifs de circuit complexes et précis. FPA-5500 IZ est équipé d'un ensemble de fonctions d'éclairage binaire évoluées qui permet une utilisation rapide et précise avec une haute répétition et précision. Ce forfait avancé comprend le mode VNA (Variable Numerical Aperture) qui ajuste l'ouverture numérique et la taille du spot pour optimiser davantage les caractéristiques de résolution et le Mask Shift Scan (MSS) qui réduit de moitié le temps d'exposition par rapport aux systèmes d'éclairage binaire classiques. L'installation optique de CANON FPA-5500 IZ se compose d'une structure catadioptrique entièrement réfléchissante comprenant un total de 10 éléments optiques, comprenant une source lumineuse partagée, une lentille d'imagerie, des miroirs, des objectifs focaux et un contrôleur de lumière à 4 volets. Les éléments optiques incorporés dans l'élévation de la résolution du système à 32 nm demi-pas. Le FPA 5500IZ est alimenté par le CASS propriétaire de CANON (Grosse unité d'alignement et de stabilisation) qui stabilise activement la lumière d'exposition au niveau de la plaquette, ainsi qu'une capacité d'alignement de niveau sous-micron et le CACC (Grosse machine d'alignement et de correction) qui permet un meilleur contrôle de position. Ces deux fonctions travaillent ensemble pour créer des résultats optimaux et cohérents. FPA 5500 iZ est conçu avec un étage de plaquette haute performance qui peut contrôler les mouvements rotatifs et diverses vitesses de balayage. Son outil d'exposition des bords répond à des exigences précises en matière de marquage et son mécanisme de chargement des plaquettes est optimisé pour gérer les plaquettes fragiles. CANON FPA 5500 iZ utilise également un atout de livraison de produits chimiques pour assurer une diffusion uniforme des produits chimiques de procédé pour une lithographie d'immersion répétable. CANON FPA 5500IZ est capable de modeler des plaquettes d'une taille allant jusqu'à 200mm et d'une précision allant jusqu'à 32nm demi-pas avec une accélération de 10G et un débit maximum de 406wph. Il est également conçu avec une faible empreinte, une structure respectueuse de l'environnement et un confinement minimal de la puissance. Cela le rend idéal pour le développement de processus multi-technologies et des applications de production à haut volume. FPA-5500 IZ est un modèle de lithographie très avancé et polyvalent qui est équipé de fonctionnalités pour permettre des capacités de fixation précises et efficaces.