Occasion CANON FPA 5500 iZ #9274953 à vendre en France
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Vendu
ID: 9274953
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Stepper, 12"
Reticle, 6" (LIB)
Inline: Left to right
With ACT12 ((2) Coater / (2) Developer)
2001 vintage.
CANON FPA 5500 iZ est un pas de tranche qui est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de circuits intégrés (IC) et d'autres dispositifs microélectroniques comme des puces à mémoire, des processeurs ou des LED. Il dispose d'une conception avancée qui aide à minimiser les variations dans la précision et la répétabilité des processus sur une large gamme d'appareils. L'iZ est un système pas-à-pas, c'est-à-dire qu'il est capable de déplacer le réticule (le masque sur lequel est stocké le motif de conception des circuits) et la plaquette horizontalement en deux étapes. La première étape est appelée « pré-alignement », où le réticule est positionné avec précision sur la plaquette. La deuxième étape est appelée « balayage », où un faisceau laser dit « d'exposition » est utilisé pour projeter le motif du réticule sur la plaquette. CANON FPA 5500IZ est capable de fonctionner à une résolution maximale de 0,25 microns (1/4 de micron) et à une précision de répétition maximale dans la gamme de nanomètres à un chiffre (c.-à-d. un écart inférieur à 10nm). Il dispose d'une fonction de couture d'image haut de gamme, qui peut joindre plusieurs images ensemble pour recréer les grands motifs réticulaires avec une résolution de 0,25 microns. L'iZ offre également une gamme de capacités d'alignement avancées. Cela comprend l'alignement du réticule et de la plaquette pour assurer la précision et la répétabilité ; la capacité d'effectuer le positionnement relatif d'une série de champs similaires sur la plaquette ; ainsi qu'un mode juste en place (JIP) qui permet un pré-alignement précis et rapide de la plaquette et du réticule sans nécessiter de réglage de la plaquette ou du réticule. FPA-5500 IZ est conçu pour être une plate-forme rapide, fiable et performante pour la fabrication de dispositifs. Il est capable de fournir un temps de cycle rapide grâce à la grande précision de son système d'imagerie et de son système d'alignement flexible, qui permet un emplacement de terrain répétable et précis. En outre, il offre une gamme de fonctionnalités telles que des rondelles personnalisables, des systèmes d'éclairage par fibre optique et une interface utilisateur intuitive. FPA 5500IZ est un pas de plaquette robuste et très précis qui convient à une variété de procédés de fabrication microélectronique. Il est conçu pour les plus hauts niveaux de précision et de répétabilité et offre un certain nombre de fonctionnalités avancées qui en font un choix idéal pour la fabrication d'IC et d'autres dispositifs microélectroniques.
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