Occasion CANON FPA 5500 iZ #9275017 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZ est un pas de tranche qui effectue des tâches de lithographie critiques dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une version améliorée du FPA 5000 qui dispose d'un équipement optique amélioré et d'une plus grande résolution des fonctionnalités jusqu'à 0,09 microns. L'étape utilise la technologie des lentilles comprenant un réseau d'éléments optiques tels que des lentilles, des miroirs et des prismes pour transférer une image sur une plaquette. Il réduit l'ouverture de la lumière ce qui permet un placement plus précis et précis de l'image. CANON FPA 5500IZ a la performance haut reflétante pour la lithographie UV profonde, providingPatterns avec linewidths en bas à 0,09 microns (0,009 mm) tant dans positif que dans négatif s'oppose aux expositions. Il offre également une précision de recouvrement supérieure et une faible latitude de processus, assurant des tolérances serrées sur la conception du produit. L'unité dispose d'un système optoélectronique de projection amélioré qui augmente la résolution ainsi que d'une unité d'éclairage améliorée qui assure l'uniformité de l'éclairage sur l'ensemble du champ d'exposition. Cela permet aux clients d'obtenir des résultats optimaux afin de produire leurs modèles souhaités. FPA-5500 IZ est livré avec une foule de fonctionnalités qui le rendent adapté à tout travail de lithographie de haute précision. Il a un champ maximum de 24 X 24 mm et est équipé d'une plage de translation d'étage de 10 mm pour la taille maximale du champ et la précision. L'unité est capable de fonctionner à différentes longueurs d'onde, dont i-line (365 nm), g-line (436 nm) et DUV (248 nm). La machine est également équipée d'un outil d'alignement de plaquettes performant qui lui permet d'assurer une précision d'alignement supérieure à 70 nm avec une répétabilité allant jusqu'à 20 nm. La machine est très fiable et stable, avec des caractéristiques telles qu'un ioniseur d'air et un filtre à poussière. L'actif est également équipé d'une table anti-vibrations permettant un placement d'image stable jusqu'à un demi pas sur une plaquette. Il est équipé d'une vanne interne qui aide à prévenir la contamination de la chambre à vide. FPA 5500IZ dispose également d'un grand moniteur LCD pour une visualisation facile des informations d'imagerie. En termes d'automatisation, CANON FPA-5500 IZ est équipé d'un contrôleur évolutif qui peut supporter jusqu'à trois fonctions de chargement automatique définissables par l'utilisateur pour des débits variables. Il est également contrôlable via une interface utilisateur graphique (interface graphique) facile à utiliser qui permet un fonctionnement automatique, semi-automatique ou manuel complet. La machine a une vitesse de traitement élevée qui réduit les temps d'exposition et peut traiter jusqu'à huit plaquettes par heure. Dans l'ensemble, FPA 5500 iZ est un pas de plaquette avancé qui offre une résolution et des capacités accrues avec ses systèmes optiques améliorés. Il offre également une grande précision dans l'alignement et le recouvrement des plaquettes, ainsi que des options d'automatisation pour augmenter l'efficacité et le débit.