Occasion CANON FPA 5500 iZ #9384056 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZ est un pas de plaquette optique qui est conçu pour fournir aux utilisateurs une plate-forme avancée et fiable pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet appareil est la prochaine génération de la technologie CANON iZ, ce qui en fait le pas de plaquette le plus avancé et le plus efficace de l'industrie. Le pas de plaquette est équipé d'un outil de projection avancé à haute résolution, d'étapes et d'étapes avancées avec métrologie intégrée, et d'une source de lithographie à haute capacité. CANON FPA 5500IZ utilise un laser DUV KrF d'une longueur d'onde de 248 nm et une optique sphérique avancée pour fournir un équipement d'imagerie haute résolution. Il dispose d'un système d'étage avancé de haute précision, composé de moteurs à tangage fin, d'un balayage multidimensionnel et d'un contrôle cinématique. Le wafer stepper dispose également d'une source de lithographie de grande capacité qui utilise l'éclairage multi-longueurs d'onde des UV aux IR et permet une lithographie à long terme, répétable, super-résolue. FPA-5500 IZ dispose également de fonctions intégrées d'inspection des défauts, de placage des images et de métrologie, fournissant aux utilisateurs une unité complète pour la fabrication d'appareils de la plus haute qualité. Tous les composants du pas de plaquette sont modulaires et interchangeables, ce qui permet une maintenance et une réparation faciles. En outre, la machine est équipée d'alimentations électroniques et de commandes électromécaniques multi-canaux, permettant des temps de cycle bas et un meilleur débit. FPA 5500 iZ est conçu pour répondre aux besoins des environnements de production de semi-conducteurs les plus exigeants. Son unité d'imagerie haute résolution et ses étages avancés offrent une excellente précision d'imagerie et un contrôle précis. La métrologie intégrée, l'inspection des défauts et les capacités de placage offrent une solution complète pour la fabrication des appareils. Enfin, sa construction modulaire et sa machine de lithographie répétable à long terme en font un choix idéal pour la production en grand volume d'appareils de précision.