Occasion CANON FPA 5500 iZa #293606891 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 5500 iZa
ID: 293606891
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
i-Line stepper, 12" Process: i-Line wide-field FOUP Load port (2) SMIF Indexers Lens performance Does not include Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 200 VAC, 3-Phase 2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa est un pas de plaquette conçu pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs qui nécessitent des solutions précises d'alignement et d'exposition. C'est un type de projection-aligneur à faisceau unique qui fournit aux utilisateurs des niveaux avancés de précision et d'uniformité. CANON FPA-5500IZA est équipé d'une gamme de fonctionnalités qui sont conçues pour améliorer le processus global en créant un produit de qualité avec moins d'erreurs. La taille du champ éclairé varie de 7,5 à 55 μ m, tandis que sa taille minimale est de 0,5 μ m. Le pas a une précision d'alignement allant jusqu'à 2,5 μ m, avec une largeur de ligne minimale mesurable de 0,15 μ m. FPA 5500IZA a un étage mécanique qui peut se déplacer en trois axes (X, Y et Z) pour des réglages minutes pour l'alignement et l'exposition. De plus, le stepper dispose d'un système d'imagerie haute résolution pour l'enregistrement rapide et précis des marques d'alignement. Il est en outre équipé d'une commande de focalisation automatique et manuelle pour plus de précision et de répétabilité. FPA-5500 IZA dispose également d'un système d'exposition étendu, qui comprend une source laser sans obturation qui assure la cohérence du produit sur plusieurs lots. Ce système a été intégré au stepper lui-même, ce qui lui permet de s'adapter à un large éventail d'objectifs d'exposition. Un miroir peu réfléchissant amélioré réduit également le temps d'exposition total et améliore la précision de l'image. Le stepper est conçu pour être convivial, avec son terminal d'affichage graphique convivial et une suite de logiciels. Cette suite logicielle permet l'entrée et le contrôle automatisés pour une gamme de processus de fabrication, y compris l'alignement, l'exposition et le traitement post-exposition. Le stepper peut être utilisé dans différents modes, tels que manuel ou automatisé, ainsi qu'en mode hors ligne ou en ligne. CANON FPA 5500IZA est conçu pour fournir aux fabricants une précision, une répétabilité et une vitesse supérieures. C'est un pas polyvalent et très adaptable qui est parfait pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs. Il peut être programmé pour un large éventail de processus, avec son interface conviviale qui le rend facile à utiliser. Enfin, son design innovant est conçu pour améliorer le processus de fabrication global, ce qui donne des produits supérieurs avec moins d'erreurs.
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