Occasion CANON FPA 5500 iZa #293606898 à vendre en France
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ID: 293606898
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa est un équipement d'imagerie et de lithographie de puce haut de gamme, développé pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe. Ce système est conçu pour les opérations de technologie lithographique de pointe et les capacités de cartographie des plaquettes de précision. Ses caractéristiques principales comprennent un grand champ optique, et haut débit, balayage de faisceau à faible bruit, lui permettant d'offrir des performances d'image et de lithographie inégalées. CANON FPA-5500IZA est conçu avec un grand champ éclairé d'un peu moins de 20 pouces et permet des applications de grand pas de filière. Ce grand champ prolonge la marge du procédé, notamment lors de l'usinage de grandes puces. L'unité dispose d'une conception très résistante aux chocs et à la corrosion, lui permettant d'effectuer dans des conditions de processus industriels difficiles. La consommation électrique a également été améliorée, offrant une efficacité énergétique inégalée. FPA 5500IZA est équipé d'un balayage de faisceau de haute précision et de faible bruit, ce qui lui permet de traiter de petits lots et pour les couches simples, il peut produire des tailles de caractéristiques précises micron. Cette technologie de balayage réduit considérablement le niveau de contamination sur la plaquette, fournissant des procédés propres qui offrent encore plus de précision. La machine est également équipée d'une lentille fluide à balayage grande et puissante, ce qui lui donne la possibilité de sortir jusqu'à une résolution de 0,75 micromètre, avec une profondeur de couleur de 20 bits. CANON FPA 5500IZA utilise un réseau photoélectrique pour une modélisation rapide avec un emplacement précis et un alignement précis. Cette technologie permet également une programmation ininterrompue, car l'outil peut facilement passer entre les petits et les grands modèles. En outre, les fonctions d'alignement de haute précision de l'actif permettent un positionnement précis et la fiabilité. FPA-5500IZA dispose d'un modèle et d'un logiciel informatiques avancés, intégrés avec des algorithmes avancés, lui permettant de cartographier avec précision un motif de haute résolution et de grand champ sur la plaquette. Cet équipement est capable d'effectuer une lithographie de pointe, telle que la lithographie par immersion, et d'utiliser également une imagerie de plaquette avancée, telle que l'imagerie UV, rayons X et faisceau électronique de pointe. Avec sa conception très fiable et économe en énergie, ses capacités d'imagerie et de lithographie avancées et sa technologie de cartographie précise des plaquettes, FPA 5500 iZa offre des performances inégalées en matière de fabrication de puces et d'opérations lithographiques.
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