Occasion CANON FPA 5500 iZa #9113707 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 5500 iZa
ID: 9113707
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
i-Line stepper, 12" Reticle size: 6" Exposure system: Numerical aperture (NA): 0.45 to 0.57, 0.01 resolution Magnification: 1:4 Field Size: 1" x 1.3" Exposure light: i-Line (λ: 365[nm]) Main system: Console: Dual console Signal tower: (4) Color (User set) Wafer system: Water track interface: TEL ACT 12 Inline direction: Front inline Track interface: Lithius Reticle system: Reticle barcode reader: Standard Reticle library: Standard (7 slots) (7) Pallets Included: Port tag reader Wafer temperature plate Reject carrier type (5 wafers) Currently de-installed 2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa est un pas de plaquette haute performance conçu pour des applications de photolithographie à haut volume. Il s'agit d'un outil haut de gamme utilisé pour modéliser des dispositifs de circuits intégrés semi-conducteurs avancés et présente des performances d'imagerie extrêmement précises et reproductibles. Le stepper intègre une technologie avancée d'imagerie directe au laser avec une optique de projection DMD (dispositif micro-miroir numérique) à grande vitesse afin de fournir une plate-forme rapide et fiable pour la fabrication de plaquettes à pas. La plate-forme se compose d'un ensemble avancé de projection DMD, une source lumineuse UV laser, et un certain nombre de systèmes de contrôle sophistiqués. Avec l'ensemble de projection DMD, le pas peut contrôler précisément la largeur de l'image à travers la plaquette, ainsi que la précision d'alignement de position et la cohérence de chaque champ. Cela garantit une grande répétabilité de l'image sur plusieurs plaquettes et fournit une fabrication d'appareil de haute précision. Le stepper dispose également d'un contrôle de haute précision de l'axe Z, permettant d'obtenir des réglages focaux précis tout en offrant une plus grande plage d'exposition pour chaque champ. Cela garantit une qualité d'image égale sur l'ensemble du champ exposé, assurant une fabrication précise et cohérente du dispositif sur toutes les surfaces de la plaquette. CANON FPA-5500IZA est équipé d'un système de focalisation automatique de haute précision pour optimiser la résolution de l'image, et d'un système avancé de correction des réticules de métrologie pour améliorer la cohérence champ-à-champ. Le stepper dispose également de capacités intégrées de reconnaissance de motifs et d'enregistrement pour accélérer le chargement du masque et l'alignement optique. En outre, FPA 5500IZA utilise une technologie de gestion thermique avancée pour assurer un fonctionnement stable de l'ensemble DMD et de la source lumineuse laser, ainsi qu'un refroidissement efficace de l'optique et des composants optiques. Il dispose également d'un système de sécurité complet pour protéger ses utilisateurs contre d'éventuels accidents induits par laser. Pour garantir une fiabilité maximale, le pas utilise des capteurs d'image et de l'électronique intégrée pour une fiabilité accrue et une durée de vie prolongée. CANON FPA 5500IZA offre également une gamme complète d'outils et de services de gestion des processus, ce qui permet d'améliorer l'utilisation et le rendement des outils. Enfin, le stepper est livré avec une interface intuitive et un logiciel facile à utiliser pour un fonctionnement plus rapide et efficace.
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