Occasion CANON FPA 5500 iZa #9294138 à vendre en France

CANON FPA 5500 iZa est un pas de projection lithographique haut de gamme développé par CANON. Cette pièce avancée d'équipement de lithographie optique est conçue pour exposer des couches structurées sur des plaquettes à des résolutions aussi fines que 0,2 micron, ce qui correspond à un cinquième de la largeur d'un cheveu. Le FPA 5500 libère une ouverture numérique élevée de 0,7, ce qui permet une meilleure focalisation et un débit plus élevé par rapport aux marches classiques. Le FPA 5500 utilise la technologie avancée iZ PreAlign brevetée CANON qui utilise une étape inclinée, adoptée par l'étape de balayage CANON, couplée à son algorithme avancé 'VIA2' pour permettre un alignement précis entre le motif d'une plaquette et le plan d'exposition de l'étape. Ceci permet une plus grande précision d'alignement et un meilleur débit par rapport aux marches classiques. Le FPA 5500 est alimenté par le processeur CANON Edge 5500, doté d'IC de contrôleur intégré qui réduit la taille de la machine et utilise 15 bits ADC/DAC et Wafer-Align-Machine (WAM) pour les capacités de gravure avancées. Ce processeur libère également la zone d'arête de la plaquette des erreurs d'alignement par rapport aux gradins obsolètes. La précision du FPA 5500 est également maintenue par l'utilisation par la machine d'un mandrin à vide en verre de haute stabilité qui assure un maintien sûr de la plaquette, et de l'aligneur de projection qui utilise un illuminateur à quatre facettes et des configurations de lentilles de scène pour minimiser les désalignements. Le FPA 5500 dispose également d'un système de focalisation automatique, utilisant une source laser et un détecteur de focalisation pour mesurer avec précision la distance focale entre le masque et la plaquette. De plus, le FPA 5500 est équipé de la technologie d'imagerie CANON 'Atom' qui augmente la précision de la dose d'exposition en permettant la mesure simultanée de 6 axes optiques sans se déplacer. CANON FPA-5500IZA est un marchepied puissant et à la fine pointe de la technologie. Cet équipement de lithographie optique de pointe permet une plus grande précision d'alignement et un meilleur débit, tout en offrant un maximum de précision et de stabilité dans la fixation.