Occasion CANON FPA 6000 AS4 #293752739 à vendre en France
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ID: 293752739
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
ArF Scanner, 8"
CYMER Laser
CYMER Chamber (MO/PA) non-functional
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
Stage leak
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette conçu pour être utilisé dans des applications de balisage dans toute une gamme d'industries. Il dispose d'une grande table d'étape, permettant un alignement précis des plaquettes de substrat. Le pas comporte un étage porte-air avancé qui fournit un plan plat et uniforme pour les motifs de plaquettes à projeter sur. Utilisant un équipement optique de projection performant, la machine est capable de fournir une résolution d'image très précise lors de la réalisation de masques lithographiques. L'unité de balayage FPA 6000 AS4 permet de réduire les désalignements. La fonction brevetée « Sync-Scanning » assure une synchronisation étroite entre le masque et la plaquette, offrant une précision d'image supérieure. La machine est également équipée de la technologie CANON Advanced Digital Filter Processing (DF) pour détecter et atténuer tout rayonnement de fuite. Cela permet d'assurer la plus grande précision de configuration de qualité pour les applications optoélectroniques avancées. Le stepper est équipé d'un système d'alignement automatisé qui permet de localiser rapidement et précisément l'alignement optimal. Cette unité permet de s'assurer que les masques s'alignent parfaitement, ce qui permet d'économiser du temps et des coûts de production. Une machine de mesure intégrée aide à détecter les chevauchements, générant des résultats plus précis en moins de temps. CANON FPA 6000 AS4 a une conception à faible entretien qui aide à maximiser le temps de disponibilité. Le stepper peut fonctionner jusqu'à 24 heures par jour et comprend un planificateur d'exploitation flexible qui aide à maintenir la production efficacement et en douceur. Une variété d'outils de maintenance, comme un outil basé sur l'IA qui détecte les irrégularités et signale les erreurs, contribue en outre à assurer le bon déroulement des opérations. FPA 6000 AS4 comprend en outre une série de caractéristiques conçues pour accroître la sécurité. La production n'est assurée que dans des délais prédéfinis, ce qui accroît la sécurité opérationnelle et élimine les risques de dysfonctionnements. Enfin, le stepper est équipé d'un dispositif d'avertissement de remplacement de filtre qui aide à protéger contre toute infiltration de particules de poussière dans le modèle. Dans l'ensemble, CANON FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette avancé conçu pour fournir une précision et une précision élevées pour les applications de balisage. Il dispose d'un étage porteur d'air, projection d'image avancée, synchronisation-balayage, équipement d'alignement intégré, conception de faible entretien, et des caractéristiques de sécurité, lui permettant d'offrir d'excellents résultats dans une variété d'applications.
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