Occasion CANON FPA 6000 AS4 #293752740 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293752740
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Argon Fluoride (ArF) scanner, 8"
CYMER Laser
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
Non-functional parts:
CYMER Chamber (MO / PA)
Reticle changer robot arm
Reticle pre-align stage
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4 est un équipement avancé et automatisé de pas de plaquettes qui utilise la projection d'imagerie aérienne et l'alignement de haute précision pour obtenir un débit ultra élevé et des résultats de photolithographie extrêmement précis. Il est conçu pour une production complète dans l'industrie des semi-conducteurs, y compris les microprocesseurs et les IC. Le FPA 6000 AS4 dispose d'une structure de système très compacte, qui améliore le débit et réduit l'espace nécessaire par rapport aux modèles précédents. L'alignement AS4 intégré stepper et le simulateur de dessin fournissent l'alignement de haute exactitude, qui permet l'alignement précis de la position de dessin et du foyer dans toutes les régions de la gaufrette. Le pas automatisé est capable de reconnaître les points de décalage dans l'ensemble de la plaquette avec une grande précision. Ceci augmente la précision et le rendement global de l'unité, notamment pour les circuits intégrés à petit pas. La machine est équipée d'un outil d'activation CAP à la pointe de la technologie CANON, ce qui réduit considérablement la consommation d'énergie des processus de photolithographie et, par conséquent, les temps d'arrêt réalisables. L'activation CAP est spécifiquement conçue pour réduire le temps de pré-exposition, permettant un débit plus rapide et une capacité de production plus élevée. En outre, l'actif est équipé d'un modèle avancé de déplacement de la tour qui utilise les informations de mesure de l'épaisseur de la plaquette pour changer l'optique d'imagerie automatiquement. Avec cet équipement, CANON FPA 6000 AS4 peut accueillir différentes épaisseurs de plaquettes, optimisant ses capacités d'imagerie et sa qualité d'impression. FPA 6000 AS4 est également équipé d'un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires pour maximiser le débit et améliorer la précision et la fiabilité. Son système d'enregistrement RC favorise un haut niveau d'enregistrement entre les modèles produits successivement, assurant une répétabilité des modèles exceptionnellement élevée. En outre, l'unité est équipée d'un certain nombre de contrôleurs et de capteurs intégrés, tels que des capteurs de position de plaquettes et des capteurs AFD pour un contrôle précis du mouvement. Cela permet de s'assurer que la plaquette argentée est imagée correctement et sans défauts. Enfin, le contrôleur convivial de la machine fournit aux opérateurs une interface graphique entièrement contrôlable, ce qui simplifie le processus de configuration et de fonctionnement. De plus, CANON FPA 6000 AS4 offre une gamme d'options logicielles, permettant aux utilisateurs de personnaliser divers paramètres tels que le type, le nombre, la taille et la résolution des motifs. Cela rend l'outil adapté à une variété de processus de photolithographie, offrant un maximum de contrôle et de flexibilité pendant la production.
Il n'y a pas encore de critiques