Occasion CANON FPA 6000 AS4 #293753688 à vendre en France
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ID: 293753688
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
CYMER Laser, currently non-functional
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette de pointe conçu pour les techniques de lithographie avancées. Cette machine innovante utilise des techniques de lithographie avancées, telles que la projection d'exposition multiple, pour créer des masques haute résolution. FPA 6000 AS4 est capable de fournir des modèles de micro-lignes allant jusqu'à 1,0 μ m sur des champs de grande surface. CANON FPA 6000 AS4 dispose d'une surface de travail maximale de 6 000 x 6 000 μ m et d'un équipement de zoom en 5 étapes, permettant une exposition précise de la plaquette. De plus, il dispose d'un illuminateur à forte puissance, d'un balayage bidimensionnel et d'un système de projection à angle variable pour réduire les aberrations et les distorsions. La machine dispose également d'un mode d'imagerie réfléchissante à haut débit pour la production d'éléments optiques avancés. FPA 6000 AS4 a plusieurs fonctionnalités avancées qui aident à assurer une production de masque de qualité. Il dispose de systèmes intégrés d'autofocus et d'anti-collimation pour aligner précisément les masques avant l'exposition. En outre, son optique laser avancée assure des motifs de masque haute résolution précis. CANON FPA 6000 AS4 dispose également d'une unité de nivellement automatique intégrée qui permet une exposition uniforme de la plaquette. FPA 6000 AS4 a un débit allant jusqu'à 500 wafers par heure, ce qui en fait l'un des steppers de wafer les plus rapides disponibles. Sa rotation rapide et son balayage bidimensionnel assurent une production rapide et précise d'une grande variété de motifs. De plus, son interface conviviale le rend facile à programmer et à utiliser. CANON FPA 6000 AS4 est une machine très fiable et durable. Il est construit avec un design rigide et résistant à la poussière qui empêche la contamination et l'usure. La machine a également un faible taux de défaillance par rapport à d'autres paliers de wafer d'une classe similaire. En outre, sa machine de maintenance intégrée permet de vérifier et de diagnostiquer facilement tout problème avec la machine. Dans l'ensemble, FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette très avancé qui offre une production de masque lithographique de haute précision. Son ensemble de fonctionnalités avancées, son haut débit, sa fiabilité et sa durabilité en font un choix idéal pour les applications de lithographie avancées.
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