Occasion CANON FPA 6000 AS4 #293753702 à vendre en France
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ID: 293753702
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
2003 vintage.
CANON FPA 6000 AS4, est un pas de plaquette avancé conçu pour faciliter le processus d'imagerie en photolithographie. Avec une précision de taille d'image de 5,8 μ m, une précision de recouvrement de 1,6 nm et une vitesse d'imagerie rapide pouvant atteindre 100 plaquettes par heure, la machine est adaptée à une production de semi-conducteurs à haut volume et à haut débit. La machine est équipée d'un robot six axes de haute précision et à faible charge pour un mouvement de scène rapide et précis, et a une conception de compensation des vibrations verticales pour garantir des résultats optimaux lors de l'impression de plusieurs puces sur une seule plaquette. En outre, la machine est équipée d'une source lumineuse laser excimère haute performance, qui assure des images haute résolution avec un minimum de temps d'exposition. Cela rend la machine adaptée pour une production à haut volume et à haut débit. FPA 6000 AS4 dispose également d'un équipement fiable de mise en forme des faisceaux à cristaux liquides, offrant un contrôle de la déviation des faisceaux très précis. Cela permet au processus de la machine avec une grande précision, et aide à réduire les éventuelles erreurs de forme. La machine assure également un contrôle automatisé de la focalisation, afin que les images imprimées puissent être produites avec précision et rapidité, quelles que soient les conditions de l'étage et du substrat. En outre, il dispose d'un système d'alignement automatisé, permettant aux utilisateurs de régler rapidement la position du faisceau avant l'impression, améliorant la résolution et la précision des images imprimées. En plus de ses capacités d'imagerie, l'unité fournit également des outils avancés d'édition de motifs, permettant aux utilisateurs de concevoir des modèles avancés avec des détails plus fins. De plus, le positionnement du motif peut être suivi avec précision, de sorte que le motif imprimé est précis, quelle que soit la position de l'étage. Enfin, la machine est équipée d'une machine de gestion de données robuste, offrant à l'utilisateur la possibilité de stocker une variété de données, y compris les paramètres, les recettes et les résultats de mesure. Il est ainsi facile de gérer plusieurs plaquettes et de gérer le cycle de vie de chaque plaquette. En résumé, CANON FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette avancé capable de fournir une imagerie haute précision et à haut débit pour les processus photolithographiques. Grâce à son débit d'imagerie rapide et à sa conception fiable, la machine est idéale pour tout environnement photolithographique, en particulier pour ceux qui nécessitent des volumes élevés de produits.
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