Occasion CANON FPA 6000 AS4 #293815419 à vendre en France
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ID: 293815419
ArF Scanner
Missing parts:
Lens
Stage
Printed Circuit Board (PCB)
HAN1‑1 Robot
C-robot
R-robot
Pump.
CANON FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette qui offre une petite empreinte et de grandes lentilles optiques, ce qui en fait un choix idéal pour les procédés lithographiques. Ce pas de plaquette a une taille de lentille maximale de 150mm à 0.40NA, et est capable d'exposition sur des surfaces semi-sphériques en raison de son optique avancée. FPA 6000 AS4 dispose également d'une taille de champ de 200mm et de tache laser minimale jusqu'à 0,5 microns. Cet équipement est équipé de diverses caractéristiques et technologies, telles que son équipement d'alignement actif des réticules, qui offre la capacité d'améliorer la précision et le contrôle de superposition grâce au système d'alignement exclusif CANON. CANON FPA 6000 AS4 dispose également d'une unité d'éclairage de champ courbe avancée CANON et d'une machine de focalisation aérodynamique pour des temps d'exposition plus rapides. Ce pas de plaquette dispose également d'une grande ouverture numérique de capteur allant jusqu'à 0,90, avec six zones de détection indépendantes, qui le rendent plus précis et plus puissant que les autres pas de plaquette sur le marché. En outre, FPA 6000 AS4 a un large choix de formats d'exposition et de numérisation. Cela comprend l'exposition binaire à base de raster, le balayage photomasque, le balayage en fente et le balayage en ligne, ainsi qu'un choix de formats pour chaque application. De plus, CANON FPA 6000 AS4 dispose d'un outil exclusif d'éclairage à la volée qui ajuste le motif d'éclairage en fonction de la forme d'exposition. Cela garantit que l'image est homogénéisée avec précision pour obtenir les meilleurs résultats. Toutes les fonctionnalités offertes par FPA 6000 AS4 en font un choix idéal pour une variété d'applications dans les processus lithographiques.
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