Occasion CANON FPA 6000 AS4 #293815444 à vendre en France

CANON FPA 6000 AS4
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 6000 AS4
ID: 293815444
Deep Ultraviolet (DUV) Scanners Argon‑Fluoride (ArF) laser Damaged parts: cymer laser, chiller WS counter mass water leak Stage leak Module: PH.
CANON FPA 6000 AS4 est un pas de plaquette haut de gamme conçu pour permettre une lithographie de haute précision utilisée dans la production de dispositifs semi-conducteurs. La machine est équipée avec un scanner à laser à haute résolution spécial de 4 kW pour offrir l'exactitude supérieure et l'uniformité. La machine dispose d'un équipement d'alignement à grande vitesse qui utilise plusieurs détecteurs pour détecter la distorsion de la ligne de balayage et régler l'alignement dans les axes X et Y. Les caméras CCD doubles assurent un alignement de superposition précis avec une précision subpixel. En outre, la machine offre un contrôle de processus supérieur grâce à une adaptation étendue avancée et un système automatisé de repérage. Ces systèmes permettent une imagerie lithographique précise des structures les plus minuscules sur des plaquettes fragiles. De plus, l'unité d'obturation automatique assure un débit uniforme et une exposition non uniforme de tous les niveaux de masquage. La machine est également équipée d'un codeur à longue durée de vie pour le balayage de haute précision et d'une machine de manutention de plaquettes extra-stable conçue avec la technologie brevetée. Ces caractéristiques permettent une manipulation et un alignement supérieurs des moindres motifs sur la surface de la plaquette. Le logiciel avancé fournit également un contrôle de processus supplémentaire et un réglage fin du processus d'imagerie. La machine offre également des capacités de collage de plaquettes supérieures avec CANON AMF-FT (Auto Matching Functional Free Topology). Cette caractéristique unique offre des paramètres de collage supérieurs avec une minimisation de la distorsion de masquage et une garantie d'alignement fortement parallélisé. FPA 6000 AS4 est le pas de plaquette le plus haut de gamme disponible aujourd'hui, offrant une précision et une uniformité inégalées. Un contrôle avancé des procédés, un balayage supérieur et des capacités de collage supérieures des plaquettes en font la machine idéale pour la production réussie d'appareils haut de gamme.
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