Occasion CANON FPA 6000 ES5 #9253683 à vendre en France

CANON FPA 6000 ES5 est un marchepied en plaquettes fabriqué par CANON Inc. qui permet de placer et de modeler avec précision des couches avancées de dispositifs semi-conducteurs à un taux de précision élevé. Il dispose d'un équipement de lithographie de pointe intégré idéal pour des procédés tels que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et l'exposition Deca. Le stepper utilise une double exposition pour améliorer l'alignement et la précision du placement. Il dispose également d'un environnement de fonctionnement sélectionnable qui peut gérer des conditions de traitement variées, telles que des températures élevées et une atmosphère de gaz variable. Le FPA 6000 ES5 est équipé de fonctionnalités avancées qui permettent un tissage efficace et précis au niveau des plaquettes. Ces caractéristiques comprennent un système avancé d'interféromètre laser, un couteau à air, et une machine de développement de résistance à haute précision contrôlée par la température avec une précision moyenne de placement à moins de 2µm. Son outil de focalisation automatique haute résolution fournit un processus d'exposition optimal à n'importe quelle position. Le stepper dispose d'une unité de détection d'image de 6k pixels qui fournit une capacité de sélection haute résolution. Un obturateur automatique à grande vitesse avec fonction obturateur à faible bruit est également intégré, ce qui augmente le débit de l'actif. Le stepper a une résolution maximale de 5 microns et est capable de traiter des plaquettes de 6 pouces et 8 pouces. CANON FPA 6000 ES5 est conçu pour une faible consommation d'énergie avec une faible teneur en vapeur d'eau. Son modèle de contrôle environnemental avancé permet des performances efficaces dans des températures de processus allant de 20 ° à 30 ° C, sans nécessiter de refroidissement supplémentaire. La machine fournit également un contrôle précis de la latitude d'exposition pour réguler étroitement la résolution du motif. Le stepper est conçu avec une variété d'interface de communication qui comprennent Ethernet, USB, et RS-232, ce qui le rend idéal pour les opérations de débogage et de maintenance. En outre, son équipement de contrôle intégré assure un placement et une détection précis des erreurs. Le FPA 6000 ES5 est également conçu pour un entretien facile avec une interface propre, des temps d'étalonnage réduits et des fonctions de surveillance avancées.