Occasion CANON FPA 6000 ES6 #9210240 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 6000 ES6
ID: 9210240
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
KrF Scanner, 12" 248 nm Loading config: Right hand loader In-line with TEL Clean Track Lithius Notch type, 12" (LCP Wafer chuck equipped) R-Type, Type X Auto feeder LITHIUS Type Coater developer R-Type Inline direction R-Type: Wafer thermal controller plate, 12" (WTC) L-Type: Open cassette, 12" CANON Standard booth unit Reticle changer (Reticle SMIF changer unit) Reticle barcode reader: 6" Pellicle particle checker type: 6" (Pellicle height 5mm) GIGAPHOTON G41K3-1H Excimer laser RH Type: Delivery optics Front side e-console kit Signal tower type: 3 Colors Power: 200 AC, 3 Phase 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6 wafer stepper est un outil d'imagerie optique de précision qui utilise une technologie de pointe pour permettre aux utilisateurs d'examiner, d'inspecter et de traiter avec précision un large éventail de substrats, y compris des matériaux et des structures complexes. Cela en fait l'outil parfait pour la fabrication de semi-conducteurs, la recherche et le développement. CANON FPA-6000 ES6 est extrêmement précis, offrant une vitesse d'imagerie à haute vitesse pouvant atteindre 1,2 seconde par champ de vision. Ses six têtes d'exposition individuelles contiennent une variété de lentilles et d'optiques de biseau pour permettre une flexibilité dans l'exposition du substrat, ce qui le rend idéal pour la maturation du procédé et l'inspection des défauts. Ce pas de plaquette offre une accélération d'imagerie significative avec son mode d'imagerie à haute vitesse dynamique, qui offre jusqu'à 175X vitesse d'exposition. Il dispose également d'une source d'éclairage à large spectre, avec des longueurs d'onde allant de l'ultra violet à l'infrarouge, y compris la lumière visible et invisible pour l'imagerie supérieure. Cela permet des mesures de haute résolution et de contraste, ce qui le rend idéal pour diverses applications. FPA 6000 ES6 offre également un environnement ergonomique avec ses systèmes automatisés de manutention et de pré-alignement des plaquettes. Ceux-ci permettent à l'utilisateur de déplacer rapidement et avec précision les plaquettes à l'entrée et à la sortie de la chambre d'étape, rationalisant encore plus le processus. Ceci est particulièrement utile pour le travail à haut débit. L'équipement est également très efficace, avec un système d'éclairage à faible consommation d'énergie qui consomme 90 % moins d'énergie que les systèmes d'imagerie traditionnels. Cela est combiné avec une unité de refroidissement améliorée qui maintient les températures dans leur plage optimale en tout temps. Cela permet de prolonger la durée de vie de la machine tout en réduisant les coûts. Enfin, FPA-6000 ES6 offre une gamme de fonctionnalités avancées conçues pour garantir des performances et une efficacité optimales. Il s'agit notamment d'un outil d'étalonnage automatisé, d'un atout auto-focus qui élimine les ajustements manuels de focalisation et d'un faisceau de particules de faible densité breveté (BPBD) qui améliore la cohérence et le contraste de l'image. Toutes ces caractéristiques contribuent à la fiabilité et à la productivité globales du modèle.
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