Occasion CANON FPA 6000 ES6 #9217736 à vendre en France

CANON FPA 6000 ES6 est un pas de tranche de haute précision utilisé en photolithographie. Il s'agit d'un scanner réfléchissant conçu pour des applications avancées de lithographie UV dans l'industrie des semi-conducteurs. CANON FPA-6000 ES6 fournit une taille de 0,3 µm avec une ouverture numérique (NA) jusqu'à 0,65, ce qui le rend approprié pour les noeuds de processus haut de gamme dont 28 nm et plus. Le stepper est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces, et peut écrire des images d'exposition en un temps aussi court que 2,7 secondes. Il est équipé d'une source thermique intégrée d'émission de champ, permettant un contrôle de température plus stable tout en utilisant une faible puissance, ce qui réduit le coût de possession. Le stepper dispose d'un équipement d'auto-alignement avancé, qui permet des niveaux élevés de précision et de précision de recouvrement. Le système d'auto-alignement est composé d'une unité à deux étages, utilisant une source lumineuse et une machine de prise de vue. FPA 6000 ES6 est également livré avec un puissant outil de contrôle lithographique qui combine des algorithmes de contrôle haute puissance avec une optique avancée, permettant des capacités de contrôle d'exposition avancées. L'actif de contrôle comprend également une fonction d'auto-ajustement et de rétroaction, qui permet d'optimiser les paramètres d'imagerie pour améliorer la stabilité et la précision de la lithographie. Le stepper peut même détecter et ajuster automatiquement les paramètres d'exposition sur les caractéristiques mal alignées du masque, réduisant ainsi les dépenses. FPA-6000 ES6 est livré chargé avec d'autres fonctionnalités conviviales, y compris une interface utilisateur graphique et écran tactile panneau de contrôle. Le stepper dispose également d'une couche de fenêtre d'alignement optique de longue durée, d'un modèle de commande de mouvement à six axes, d'une optique de haute précision, ainsi que d'une commande de machine intégrée pour une intégration transparente dans une ligne de production. CANON FPA 6000 ES6 est l'un des paliers de plaquettes les plus évolués et les plus conviviaux. C'est une solution idéale pour les applications de lithographie haute performance nécessitant précision et précision.