Occasion CANON FPA 6000 ES6a #9210238 à vendre en France
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ID: 9210238
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Fine pattern aligner, 12"
KrF Scanner: 248nm
Notch wafer
LCP Wafer chuck
Auto feeder: L Type, Type X
Loading config: Left hand loader
Coater / Developer: LITHIUS Type
Inline direction: L Type
L-Type wafer thermal controller plate (WTC), 12"
R Type open cassette, 12"
CANON Standard booth unit
Reticle changer
Reticle SMIF changer unit
Reticle barcode reader, 6"
Pellicle particle checker, 6"
Gigaphoton G41K3-1H excimer laser
RH Type delivery optics
Front side only e-Console kit
Signal tower: (3) Colors type
Power: 200 AC, 3 Phase
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a est un pas de plaquette sophistiqué utilisé dans les applications de fabrication de semi-conducteurs et de photolithographie. Cette machine haut de gamme dispose d'indices linéaires simples, de processus ultra-rapides et d'un indice d'abrasion faible. Le stepper est capable de travailler avec une large gamme de plaquettes, allant de 3-12 pouces de diamètre, et peut accueillir une gamme d'épaisseurs, de 2mm à 10mm. Au cœur de CANON FPA 6000ES6A se trouve un ensemble optique très précis qui utilise la technologie de balayage par diode laser pour transférer avec précision des motifs et des formes tridimensionnelles sur la surface de la plaquette. Le dispositif est capable de positionner et d'aligner des pièces avec une précision allant jusqu'à 1 micron, ce qui le rend idéal pour fabriquer des conceptions très détaillées et complexes. FPA-6000ES6A comprend une gamme de caractéristiques et de processus avancés, y compris un équipement d'inspection en deux étapes, et une technique d'alignement des plaquettes en deux dimensions. De plus, des techniques avancées de discrétisation permettent à la machine de placer avec précision et précision les géométries spécifiées à chaque fois. CANON FPA 6000 ES 6 A dispose également d'un système de manutention rapide des plaquettes, permettant le chargement et le déchargement rapides des plaquettes, ce qui améliore les temps de cycle et augmente la productivité. De plus, l'unité intègre plusieurs techniques de séchage avancées pour protéger les zones exposées contre le mouillage non uniforme et d'autres contaminants. CANON FPA-6000ES6A est construit en matériaux spéciaux et durables pour protéger les composants intérieurs contre la poussière, les débris et d'autres facteurs environnementaux. L'ensemble est conçu pour un accès et un entretien faciles, ce qui le rend idéal pour une utilisation à long terme. En plus de ses fonctionnalités de pointe, FPA 6000ES6A dispose d'une interface utilisateur complète, intégrée à une gamme de logiciels, qui permet un suivi pratique et en temps réel des performances de la machine. En outre, le logiciel intuitif permet aux utilisateurs d'adapter rapidement et facilement l'outil à des besoins spécifiques. Dans l'ensemble, FPA 6000 ES6a est un pas de plaquette impressionnant, bénéficiant d'une gamme avancée de fonctionnalités et d'une interface utilisateur intuitive. Sa précision, sa précision et sa conception robuste le rendent idéal pour diverses applications de photolithographie et de fabrication de semi-conducteurs.
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