Occasion CANON FPA 6000 ES6a #9227778 à vendre en France

CANON FPA 6000 ES6a
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 6000 ES6a
ID: 9227778
Taille de la plaquette: 12"
KrF Scanner, 12" 248 nm.
CANON FPA 6000 ES6a est une machine haute résolution de pointe conçue pour produire des photomasques de haute qualité pour la production de plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'une étape et de répétition/alignement laser/générateur de motifs/équipement de mesure de superposition avec une extrême précision et haute résolution. La machine est idéale pour la production de caractéristiques jusqu'à 0,18 µm (7,5 nm). Il offre un large éventail de caractéristiques, y compris des options d'exposition multiples, alignement d'exposition, alignement hors axe, précision de recouvrement et alignement transversal. CANON FPA 6000ES6A offre une gamme impressionnante de caractéristiques, d'options et de technologies innovantes, ce qui en fait le premier choix pour la production de puces avancées et d'autres plaquettes semi-conductrices. Les composants principaux de la machine sont un pas laser haute résolution, une station d'alignement, un système de positionnement linéaire, un générateur de motifs laser intégré, un étage de plaquette de grande capacité, une unité de focalisation réglable et une machine de commande complète. L'outil optique se compose d'un atout d'éclairage avec des optiques à diffraction limitée pour améliorer le contraste et la résolution, un modèle d'alignement d'image exposée, un générateur de motifs laser intégré avec un séparateur de faisceau unique pour fournir un recouvrement supérieur, et un équipement de démagnification pour une précision de recouvrement optimale lors de la production de caractéristiques jusqu'à 0,18 µm (7,5 nm). Un nouveau système d'alignement hors axe offre le plus haut degré de précision et de précision pour les mesures de superposition et l'alignement des champs transversaux. FPA-6000ES6A dispose également de logiciels dédiés, fournissant le contrôle de toutes les fonctionnalités et options intégrées de la machine. Il est conçu pour une navigation et un fonctionnement faciles afin d'offrir aux utilisateurs une excellente productivité et qualité d'image. Avec son générateur automatique de motifs en option, les utilisateurs peuvent rapidement créer et charger des fichiers de modèles dans chaque étape de l'unité d'exposition du stepper. Les systèmes automatisés de compensation des superpositions permettent un alignement précis de plusieurs expositions pour l'enregistrement des caractéristiques de superpositions de haute précision. Les utilisateurs peuvent accéder à des capacités plus avancées telles que la réparation de défaut pour les jetons-sur-une-plaquette et la réparation de piste pour la répétition de motifs sur une seule puce, qui est offert en option. FPA 6000ES6A est un excellent choix pour diverses applications, telles que la production industrielle de haute précision, l'emballage avancé au niveau des plaquettes et l'optoélectronique. Il offre aux utilisateurs un choix d'options d'imagerie haute résolution et d'alignement de superposition, ce qui les rend aptes à augmenter les rendements de production, la précision et la fiabilité. Cette machine est idéale pour les entreprises axées sur la qualité et celles de l'industrie des semi-conducteurs qui exigent des performances maximales dans la production de plaquettes précises et de haute qualité.
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