Occasion CANON FPA 6000 ES6a #9281803 à vendre en France

CANON FPA 6000 ES6a est un pas de plaquette haute précision et haute performance capable d'effectuer des analyses nanométriques de précision très reproductibles. Il est particulièrement précieux dans l'industrie des semi-conducteurs, car il peut produire des motifs extrêmement fins avec un haut niveau de précision et de répétabilité. Le ES6a utilise la technologie laser à impulsions ultra-courtes (USP) pour générer des intervalles jusqu'à 16nm. Il utilise également une gamme de techniques de lithographie avancées pour les dispositifs à haute résolution. L'équipement d'alignement PAT-TM permet un alignement précis lors de l'exposition, ce qui permet d'effectuer des analyses aussi précises que possible. Le système éprouvé et fiable d'entraînement d'étage oscillatoire déplace avec précision et précision la plaquette d'une manière hautement répétable. Il est également équipé de « Compact-Step » breveté CANON qui réduit le temps passé entre les opérations de l'étape d'exposition. L'unité d'imagerie utilise un pas capable de supporter une gamme de formats d'imagerie, ainsi que des impulsions de positionnement des bords. La position et la présence de particules isolées sont rapidement contrôlées à l'aide de divers capteurs, et le calibrage des particules est effectué avec une machine d'imagerie très sensible. L'optique auxiliaire peut être utilisée pour effectuer une surveillance en temps réel de l'ensemble de l'opération. Le ES6a est un pas de plaquette très efficace avec une chambre flottante en quartz/céramique avec contrôle de gaz intégré, ainsi qu'un mandrin peu profilé. Ces caractéristiques permettent un comportement stable pour une répétabilité optimale de la largeur de ligne, un débit plus élevé et une meilleure qualité globale. De plus, le Super- Light™ Laser Fluorescence Monitor (SLF) garantit une focalisation précise des plaquettes et des défauts de recouvrement de motifs sont tous sous contrôle. Ce moniteur est également capable de détecter une grande variété de défauts tels que l'agrégation de matériaux photosensibles. Le ES6a est un pas de tranche bien arrondi capable de produire des motifs nanométriques très reproductibles, extrêmement fins et précis. C'est un outil essentiel dans l'industrie des semi-conducteurs, capable d'augmenter de manière fiable le débit de production tout en maintenant une excellente qualité.