Occasion CANON FPA 6000 ES6a #9296965 à vendre en France

CANON FPA 6000 ES6a est un pas de plaquette qui fait partie de la série de développement d'équipements CANON ES, ES for Efficient Solutions. CANON FPA 6000ES6A wafer stepper est conçu pour une production efficace et précise d'appareils de niveau wafer. Il a une taille minimale de 0,25 microns et une précision d'alignement mécanique de 0,5 microns. Le débit et la répétabilité élevés le rendent adapté à une variété de processus de fabrication d'appareils, y compris les IC de haute précision, les composants passifs, les MEMS et les biocapteurs. Le contrôleur pas à pas peut stocker jusqu'à 30 recettes de processus permettant aux utilisateurs de changer entre différents composants, processus et substrats d'appareil rapidement et efficacement. La Table de Masque est conçue pour accueillir différentes tailles de masque et est capable d'aligner le masque directement avec le substrat pour des alignements de haute précision. L'étage de substrat mobile permet de charger des substrats jusqu'à 300mm et de les maintenir solidement en place. FPA-6000ES6A dispose d'un nouveau scanner Fluoro qui utilise une longueur d'onde laser pour obtenir des temps d'exposition plus rapides, entraînant un débit plus élevé. Il offre également une variété de modes d'exposition, y compris l'exposition à une seule plaquette, l'exposition à plusieurs zones et l'exposition au balayage laser. Le puissant système d'imagerie réduit les erreurs de calcul afin que les motifs de haute résolution puissent être atteints. Le stepper comprend une unité d'amplitude à deux étages qui permet aux utilisateurs de choisir parmi 2 énergies d'exposition différentes qui peuvent être ciblées sur des appareils spécifiques. Le stepper offre également des fonctionnalités d'automatisation avancées telles qu'un démarrage de processus automatique qui permet aux utilisateurs de démarrer des recettes de processus sans intervention de l'opérateur. Le module Auto Focus aide à positionner le masque et le substrat de manière optimale pour chaque exposition. La fonction Auto Reticle Change permet aux utilisateurs de changer rapidement les réticules pour augmenter le débit et la fiabilité. L'Auto Reticle Cleaning Machine permet aux utilisateurs de garder les réticules exempts de contamination et de poussière. Dans l'ensemble, FPA 6000 ES 6 Un Wafer Stepper est une solution puissante et efficace pour la fabrication d'appareils de haute précision. Il offre un débit rapide, la répétabilité, et un haut niveau de contrôle avec un logiciel facilement programmable. Il dispose également d'une gamme de capacités avancées d'automatisation et d'imagerie, ce qui en fait un choix idéal pour la production d'appareils au niveau des plaquettes.