Occasion CANON FPA 6000 ES6a #9296967 à vendre en France

CANON FPA 6000 ES6a est un pas de tranche de haute précision conçu pour la génération de motifs lithographiques et photomasques pour les procédés de dispositifs semi-conducteurs. Le stepper est capable d'imaginer des caractéristiques complexes de haute densité aussi petites que 0.11µm avec des résolutions jusqu'à 2.040 pixels/pouce (80.000 pixels/cm2) sur des plaquettes de cinq pouces (127mm) et huit pouces (203mm) de diamètre. Il est également capable de générer les plus petites tailles d'appareil de 0,07 µm pour les appareils avancés intégrés à très grande échelle (VLSI). Le stepper est construit en matériaux de haute qualité conçus pour une précision et une fiabilité maximales. CANON FPA 6000ES6A dispose d'un équipement d'alignement entièrement automatisé pour assurer un positionnement précis des plaquettes et un contrôle de la distorsion afin de maintenir une planéité complète du champ lors de l'imagerie de plus grands champs de plaquettes. Avec l'interféromètre laser, le pas mesure avec précision la position de tous les composants critiques pour garantir la précision de l'imagerie. De plus, le système d'imagerie avancé de la machine fonctionne à vitesse variable avec une précision de niveau submicronique et est capable d'imiter les caractéristiques les plus difficiles telles que des lignes étroites ou des motifs denses. La machine est équipée d'une unité optique haute résolution, basse température d'émission, longue longueur d'onde (ELW) qui est capable de fournir un éclairage uniforme sur toute la tranche de 5 pouces et de 8 pouces de diamètre. En outre, le stepper dispose d'un revêtement anti-réflexion conçu pour éviter tout effet indésirable sur l'image dû à l'interférence de la lumière, tout en offrant un excellent contraste d'imagerie. Pour l'imagerie dynamique, le stepper s'appuie sur une technologie de balayage en trois dimensions (3D) capable de fournir jusqu'à 1000 fois plus de fidélité et de résolution pour améliorer la qualité de l'imagerie. L'environnement de fonctionnement dispose également d'une plage de température et d'humidité optimisée pour améliorer la capacité d'imagerie ainsi que d'une machine d'isolation des vibrations qui est conçue pour maintenir la stabilité de la machine pendant le fonctionnement. FPA-6000ES6A dispose d'un étage réglable pour fournir des opérations de lithographie sans masque et de correction optique de proximité avec une qualité d'imagerie supérieure. En outre, l'amplificateur utilise jusqu'à cinq modes d'éclairage pour fournir les profils d'imagerie les plus appropriés pour diverses applications de lithographie. En outre, la machine est conçue pour se connecter à un ordinateur hôte grâce à une connexion Ethernet pour les opérations de base et une interface de panneau de commande dédiée pour les réglages avancés.