Occasion CANON FPA 6000 ES6a #9305230 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 6000 ES6a
ID: 9305230
Taille de la plaquette: 12'
Style Vintage: 2005
KrF Scanner, 12" Wavelength: 248 nm CYMER ELS-7310 Laser Magnification: 1/4 Illumination NA: 0.86, σ 0.95 to 0.25 Annular ratio: 1/2 to 3/4 Opening angle: 90 XY Dipole illumination TEL Lithius track interface Lens data Illumination optical system: AFIS Input switching: 15-Tier turret Aperture1: 13-Tier turret Aperture2: 4-Tier turret Projection lens NA: 0.55 - 0.86 LIPS Focus Alignment system: FRA Reticle alignment AGA Wafer alignment Reticle SMIF loader: PPC Reticle barcode reader (2D), 6" OMRON Tag reader Relay FOUP Right inline Wafer type: Notch, 12" Cool plate before exposure (WTC) Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a wafer stepper est une machine de lithographie polyvalente et conviviale utilisée dans la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un marchepied dédié produit par CANON Inc., un fabricant leader de matériel d'imagerie haut de gamme. Cette machine est conçue pour une grande précision et une productivité élevée. Il dispose d'une configuration unique de composants optiques et de commandes informatiques qui lui permettent de produire de superbes motifs de plaquettes avec une résolution de sous-micron. Le dispositif dispose d'un mécanisme de balayage rotatif de pointe avec réglages planaires commandés par ordinateur, permettant un alignement efficace et précis du masque avec la plaquette. Grâce à sa capacité à passer harmonieusement entre grand et petit champ de vues, le ES6a offre une flexibilité inégalée. Le module optique du dispositif est équipé d'une grande pluralité de lentilles assurant une fidélité exceptionnelle au motif projeté. Le système est entièrement compatible avec le format de données GDSII standard de l'industrie, permettant un transfert de données facile et la compatibilité avec des logiciels tiers. En plus de ses performances impressionnantes, CANON FPA 6000ES6A est également conçu pour un fonctionnement facile et intuitif. Le système est entièrement automatisé, de l'exposition à l'alignement au contrôle pas à pas/scanner, éliminant le besoin d'intervention manuelle. En outre, la machine est conçue pour être ergonomique pour l'ingénieur, avec sa large gamme d'options de contrôle de l'opérateur. Les réglages tels que les réglages d'exposition, les positions de focalisation et les paramètres de contrôle de mouvement peuvent tous être réglés facilement à partir de l'interface. FPA-6000ES6A assure une production rapide et précise de modèles parfaits avec un minimum d'entrée et d'effort de l'opérateur. Avec sa conception optique haut de gamme, sa précision inégalée et sa facilité d'utilisation, CANON FPA-6000ES6A est le choix idéal pour la production de semi-conducteurs à haut volume.
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