Occasion CANON FPA 6000 #293587902 à vendre en France

CANON FPA 6000
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 6000
ID: 293587902
Stepper.
CANON FPA 6000 est un appareil pas à pas avancé avec un équipement de lithographie optique haute résolution. Ce dispositif est conçu pour la fabrication de semi-conducteurs, et il est capable de réaliser des motifs de haute précision sur une variété de substrats de plaquettes. FPA 6000 fournit un faisceau lumineux ciblé de 193 ou 248nm de longueur d'onde et une puissance laser variable jusqu'à 16W. Cela permet de l'utiliser sur un large éventail de projets de lithographie et de créer une variété de motifs avec un système de lentilles corrigé spectralement. Le dispositif est équipé de la dernière technologie de traitement d'images numériques qui améliore la précision de la lithographie, et il peut reproduire avec précision et précision les plus petites images connues sur une variété de surfaces, y compris les plaquettes semi-conductrices. Le traitement d'image intégré permet d'optimiser et de placer avec précision les caractéristiques les plus petites, telles que la ligne et l'espace, le contact, les trous et plus encore. CANON FPA 6000 est équipé d'une unité d'auto-alignement en deux temps qui lui permet de maintenir avec précision la position de plaquette souhaitée pour chaque exposition. En outre, FPA 6000 peut également être utilisé pour la lithographie co-axiale et dispose d'une variété de fonctionnalités avancées telles que 1X et 7X variations de grossissement, auto-zoom et auto-shift. Le dispositif est également capable de réaliser une variété de techniques d'exposition et d'impulsions, y compris multi-impulsions et double exposition, qui peuvent être utilisés pour contrôler efficacement et avec précision les formes, les tailles et les profondeurs des motifs. L'appareil dispose également d'un microscope très fiable et sophistiqué, ainsi que d'un scanner d'alignement tridimensionnel. Ceci permet de s'assurer que les motifs d'une plaquette sont alignés avec une précision maximale de 0,5 micron, avec un taux de répétabilité inférieur à 3 microns dans le positionnement de la plaquette. CANON FPA 6000 peut également être utilisé pour le revêtement de spin, le développement et le post-traitement. Cela comprend l'électrodéposition, la gravure chimique et le traitement par voie humide ou sèche de divers matériaux. Dans l'ensemble, FPA 6000 est un appareil pas à pas très précis, fiable et sophistiqué qui fournit des résultats optimisés et précis. Ses fonctionnalités avancées, sa machine d'imagerie très précise, sa capacité d'auto-alignement et ses paramètres d'exposition multiples le rendent polyvalent et pratique pour toute une gamme de projets.
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