Occasion DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500 #293654411 à vendre en France
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ID: 293654411
Taille de la plaquette: 8"-12"
Reticle stocker, 8"-12"
(300) Mask SMIF positions.
DMS (DYNAMIC MICRO SYSTEMS) DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500 est un pas de plaquette de pointe conçu pour améliorer la fabrication de circuits intégrés (IC). Le stepper est conçu pour traiter les plaquettes de 6 « et 8 », et dispose d'un champ de balayage maximal de 105mm x 105mm. L'équipement offre une excellente manipulation du substrat et sert d'outil de haute précision pour l'imagerie, le masquage et l'exposition des IC. DMS M1500 utilise un système à double objectif unique qui fournit aux utilisateurs une NA variable et une distance de travail variable, permettant l'imagerie sur un large éventail de substrats. L'unité optique supporte également plusieurs longueurs d'onde, offrant une flexibilité dans la gamme de longueurs d'onde et de longueurs d'onde. L'étage supporte une large gamme de substrats et peut accueillir jusqu'à deux substrats en une seule exposition. DYNAMIC MICRO SYSTEMS M1500 est équipé d'un étage XY haute vitesse et est capable d'alignement, de positionnement et de poursuite de haute précision. Il dispose d'un champ de balayage important, d'une répétabilité élevée et d'un débit de balayage rapide, permettant un débit maximal. Le stepper dispose également d'un étage Piezo intégré pour supporter l'alignement et l'étalonnage, ainsi que d'une machine de contrôle programmable avancée pour la précision et la répétabilité. M1500 est conçu pour être convivial, et dispose d'un outil de traitement automatisé complet des plaquettes et d'une interface logicielle basée sur Windows pour une utilisation facile. L'actif comprend également des capacités d'autofocus intégrées et un modèle d'autofocus haute résolution pour une meilleure précision. Le stepper utilise une technologie de pointe et est équipé d'un puissant équipement de traitement d'image et d'enregistrement d'image de niveau supérieur, ainsi que d'un puissant système d'analyse d'image en temps réel. DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500 offre également une précision de masquage, un contraste et une résolution excellents et une précision de balayage optique élevée. Cette unité est idéale pour une utilisation dans la photolithographie et d'autres procédés de fabrication. C'est une solution abordable, fiable et conviviale pour la fabrication moderne de semi-conducteurs.
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