Occasion ELECTROMASK / TRE 5X #9041055 à vendre en France

ELECTROMASK/TRE 5X est un pas de plaquette de pointe conçu par la société japonaise Nikon pour la photolithographie ou le transfert de motifs sur une couche de résiste sur une plaquette. Cet équipement comprend une lentille principale, un étage réticulaire et une optique de projection qui est capable de transférer des motifs d'une taille minimale de 1,4 micron sur une plaquette de 200 mm. La première étape de photolithographie est l'alignement de l'étage réticulaire qui se fait avec un microscope à grossissement optique TRE 5X. Une fois le réticule en position, la lentille principale peut être focalisée sur la plaquette en cours de traitement. La lentille principale utilisée dans le système se compose de quatre lentilles, dont deux avec une ouverture numérique élevée de 0,46 et deux achromats qui corrigent l'abbation à des ouvertures plus grandes. Les limites de résolution de l'unité sont de 0,25 microns sur une plaquette avec une uniformité d'éclairement de 5 %. L'optique de projection dans la machine qui lit les données du réticule est un microscope à grossissement optique quadruple 4X avec une ouverture numérique de 0,25 et une taille de tache de transfert de motif de 0,5 microns. L'alignement de l'optique de projection est réalisé à l'aide d'un alignement télécentrique qui compense automatiquement l'erreur de grossissement. Un signal du réticule est capté par un capteur et utilisé pour régler et surveiller l'alignement télécentrique. L'étage de plaquette de l'outil est capable d'obtenir une précision de sous microns grâce à son actif de détection de position qui utilise une caméra CCD et un séparateur de faisceau de précision. En combinant ce modèle avec un plan focal, la position de la plaquette est mesurée avec précision tout en assurant un fonctionnement à l'étage de haute précision. ELECTROMASK 5X est également équipé de modules de protection et de systèmes de contrôle en retour pour garantir la sécurité et la précision de l'équipement. Ce système comprend également une unité de chargement automatique qui permet un traitement efficace et complet des plaquettes. La machine est également capable de traiter plusieurs types de plaquettes à la fois. Dans l'ensemble, 5X est un pas de plaquette très avancé et sophistiqué qui fournit un haut niveau de précision et de précision dans le processus de photolithographie. L'outil est idéal pour une utilisation dans des domaines tels que la fabrication de circuits intégrés, l'ingénierie médicale et le stockage de données.