Occasion GCA 6300 #131412 à vendre en France

GCA 6300
Fabricant
GCA
Modèle
6300
ID: 131412
Stepper.
Le GCA 6300 est un équipement de pointe fabriqué par GCA Corporation. C'est un outil de lithographie haute vitesse et haute précision utilisant la dernière technologie d'imagerie de projection. Il est capable de transférer des motifs de circuit définis par photomasque sur la surface de matériaux de substrat tels que des plaquettes semi-conductrices, des matériaux optoélectroniques et des afficheurs à panneaux plats. 6300 est un système de pas de plaquettes unique en raison de son ultra haute résolution qui est déterminée par l'ouverture numérique (NA) des lentilles du condenseur. Cela permet de produire jusqu'à 0,5 μ m de taille d'élément de motif. Il est également conçu pour minimiser la distorsion, ce qui permet des variations sous-microns de la taille du motif et de l'alignement pendant le processus d'imagerie. Cette précision est atteinte avec l'étape de balayage de GCA 6300, qui utilise des codeurs linéaires haute résolution couplés pour contrôler le mouvement de l'étage. L'unité a un débit maximal impressionnant de 31 wafers/heure avec une taille moyenne de 6 ". En outre, 6300 dispose d'un sous-système de scanner avancé qui peut gérer jusqu'à deux diapositives photographiques ou un film photomasque en même temps. Cela permet à l'opérateur de basculer rapidement entre différents motifs, même sur la même plaquette. Le GCA 6300 est également entièrement automatisé, ce qui simplifie considérablement le fonctionnement de l'utilisateur. La configuration, l'imagerie, l'alignement, le contrôle de la focalisation et la surveillance de la machine peuvent tous être effectués au moyen de micro-moteurs de précision contrôlés par ordinateur. Cet outil offre une grande souplesse et efficacité aux opérations de lithographie. En termes de sécurité et de maintenance, 6300 dispose d'une gamme de fonctionnalités pour assurer la sécurité en tout temps. Ses emboîtements de sécurité intégrés minimisent les risques de contamination croisée, tandis qu'un mécanisme de manivelle à trois étages empêche l'actif de se fatiguer en raison de mouvements fréquents. De plus, une chambre de dégazage sous vide est incorporée pour améliorer la résolution de l'image. Dans l'ensemble, GCA 6300 wafer stepper est un outil d'imagerie haute performance capable de résultats supérieurs pour une large gamme de substrats. Il offre une résolution ultra élevée, un débit supérieur et un fonctionnement automatisé.
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