Occasion GCA 6300B #9186800 à vendre en France

GCA 6300B est un pas de plaquette conçu par GCA, un type d'équipement de lithographie semi-conducteur utilisé pour le traitement des plaquettes de circuit intégré (IC) lors de la fabrication des IC. Il peut représenter des motifs sur des surfaces de plaquettes à l'aide d'une ou deux sources de faisceau. La machine est capable de supporter des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre et peut traiter jusqu'à seize plaquettes à la fois. 6300B est équipé d'un laser à excimère Germanium (Ge) qui produit deux faisceaux de 193nm de longueur d'onde qui peuvent être focalisés sur le même point. Il est capable de produire une résolution de 0,50 microns qui est très précise pour une gamme d'applications de lithographie. Le laser peut également être configuré soit en mode modulation d'impulsions, pour des applications à faisceau unique, soit en mode double impulsions pour des applications à faisceaux doubles. Le pas est conçu avec un sous-système de portique à axe long/axe court fortement équilibré par la contrainte, qui permet un alignement précis de la plaquette dans des conditions variables. Le pas utilise des paliers à air de haute précision pour contrôler les mouvements des grands axes, ce qui lui permet de rester stable pendant les vibrations ou les fluctuations de température. Il est également équipé d'un système avancé de contrôle de la profondeur focale d'imagerie, qui assure que les faisceaux laser restent parfaitement parallèles à la surface de la plaquette. GCA 6300B offre une large gamme de dimensions de champ d'exposition, allant de 1mm x 1mm jusqu'à 480mm x 480mm, lui permettant de traiter des plaquettes de grande surface et des motifs micro-échelle. Il offre également une caractéristique unique appelée « expositions à pente variable », qui permet au laser de varier la longueur d'exposition ou le « temps de combustion » à différents sites sur la plaquette pour le traitement de conceptions très complexes. 6300B est un pas de plaquette fiable et très précis, offrant des fonctionnalités de pointe pour le traitement de petites et grandes surfaces de la plaquette. Ses capacités de lithographie avancées, combinées à sa conception stable et durable, en font un excellent choix pour les projets complexes de traitement des plaquettes.