Occasion GCA 6300C #9181535 à vendre en France

GCA 6300C est un pas de plaquette, un type d'outil de lithographie utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un dispositif de haute précision couramment utilisé pour transférer un motif d'un masque sur une plaquette ou un substrat. 6300C est capable de photolithographie étape-et-répétition en 6, "8", et 12 "taille de plaquette. L'équipement de lentille de GCA 6300C est alimenté par un design Thorium-Fluoride qui permet une résolution exceptionnelle et des performances répétables. Le système d'objectif est actionné par une caméra CCD en boucle fermée située sur la tourelle. Cela permet des grossissements élevés et des capacités d'alignement actif. La caméra CCD est également utilisée pour détecter les erreurs d'alignement et optimiser la position de la plaquette de l'opérateur. Le stepper est connecté à une unité informatique qui permet à l'utilisateur de programmer la machine avec les paramètres souhaités. L'utilisateur peut entrer le grossissement souhaité, le foyer, la température du substrat et la vitesse d'obturation. L'outil comprend également un capteur front d'onde qui mesure l'aberration d'un actif de lentille pour une qualité optimale de l'image de transfert. 6300C est une excellente option pour les applications de lithographie haute résolution et haute vitesse. Il a un débit maximum de 1 20 000 plaquettes par jour, et peut manipuler des plaquettes jusqu'à 12 "de diamètre. Le modèle fonctionne à une longueur d'onde de 248nm et peut atteindre des résolutions de motifs jusqu'à 0,3 microns. L'équipement peut également atteindre des tailles de caractéristiques allant jusqu'à 0,2 micron, avec une excellente rugosité de bord de ligne. GCA 6300C est également conçu pour les opérations à faible entretien. Les éléments de conception sont conçus pour augmenter le temps de mise à jour et réduire le temps pour achever un alignement en boucle complète. Le stepper est également compatible avec les accessoires standards tels que les mouvements de mise au point, les changeurs de réticules et les systèmes de charge/déchargement. Il est également capable de processus de gravure assistée par convection et est conçu pour des exigences strictes de salle blanche. 6300C est une excellente option pour quiconque a besoin d'une résolution, d'une vitesse, d'une répétabilité et d'un faible entretien supérieurs dans un système de lithographie.