Occasion GCA 8000 #131413 à vendre en France
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Un Wafer Stepper GCA 8000 est une machine de lithographie optique utilisée dans la fabrication de composants de microcircuiterie. C'est un outil de pointe pour la micropatterning et la photolithographie de circuit intégré. Cet outil est utilisé dans la fabrication de motifs ultra-précis sur plaquettes semi-conductrices. Les caractéristiques de 8000 comprennent : un système de changement de réticule automatisé, une précision d'alignement de 0,6 µm, une résolution de 7,5 nm et un étage de plaquage automatique. De plus, il a une taille maximale de motif de 100mm x 200mm et supporte les substrats quartz, verre et silicium. Le fonctionnement de GCA 8000 commence par le chargement d'un réticule dans l'étage. Le réticule est alors aligné avec un point de référence. Le dispositif utilise alors une série de lentilles miniaturisées pour projeter l'image de l'ensemble du réticule sur la plaquette. Les mini-lentilles peuvent être ajustées pour changer la focalisation ou le grossissement de la projection. Après l'exposition photolithographique, la plaquette est introduite dans le système en développement. Il s'agit d'un processus chimique humide qui entraîne l'élimination de la résine photosensible exposée à la lumière. Le système en développement comprend des réservoirs avec une variété de solutions, utilisés pour nettoyer et enlever la résine photosensible. 8000 est tout à fait une pièce de technologie impressionnante, et ses applications sont nombreuses. C'est un outil très fiable et avancé qui est utilisé dans un large éventail de lignes de production. Il est capable de produire des motifs précis et à haute résolution sur des substrats avec des défauts minimes. Cette technologie peut être utilisée pour la fabrication de précision de différents types de circuits intégrés.
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