Occasion GCA AutoStep 200 #9243635 à vendre en France
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ID: 9243635
Taille de la plaquette: 8"
Wafer stepper, 8"
TROPEL 2145 Lens
i-Line (365 nm): 0.45 NA
Field size: 21 mm
With 8860 Environmental chamber
Insitu probe: Probe mount stage and lens reduction
Automatic Wafer Handler (AWH)
(25) Cycles, 6"
Automatic level wafers
RMS10: (10) Reticles, 5"
Maxi 2000: i-Line light source, 700 W
AFS 100 Automatic focusing system
MicroDFAS:
Local alignment system
Alignment prior stepping
SmartSet:
Metrology computer system and store data
Single / Multiple steppers
IQ Probe:
Lamp position and light source
Programmable Platen Control (PPC)
Automatic adjust reticle load position
Integrated Alignment System (IAS)
Automatic digital alignment
Atmospheric Compensation System (ACS)
Nitrogen reduction lens.
GCA AutoStep 200 est un pas de plaquette automatisé conçu pour maximiser l'efficacité d'échantillonnage et la flexibilité dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. GCA AUTO-STEP 200 fournit un positionnement précis et répétable du substrat et nécessite une entrée minimale de l'utilisateur pour fonctionner. L'appareil est équipé d'un équipement d'optique à échelle automatique qui peut traiter des plaquettes de 200mm à 8 "de taille, offrant une précision d'exposition optimale. Le système optique est alors équipé d'un autofocus à double capteur de pointe pour assurer une imagerie haute résolution. La tête d'exposition est capable de traverser avec des vitesses allant jusqu'à 8mm/seconde et peut être réglée en X et en Y. AutoStep 200 est alimenté par une unité de commande propriétaire de GCA basée sur un algorithme. Cette machine assure une précision optimale de placement des plaquettes en prédisant et corrigeant les éventuelles erreurs de position avant l'exposition. L'algorithme permet également un alignement efficace de l'exposition et permet à l'outil d'augmenter ou de réduire avec précision la surface exposée. AUTO-STEP 200 comprend une gamme complète de dispositifs de sécurité pour protéger les plaquettes et l'utilisateur. Tous les paramètres d'exposition sont programmables et l'actif comprend des liens de sécurité matériels et logiciels pour assurer le respect des protocoles de sécurité. En conclusion, GCA AutoStep 200 est un pas de plaquette automatisé puissant et fiable conçu pour traiter facilement une large gamme de substrats et fournir une précision d'exposition précise et répétable. Son modèle de contrôle basé sur algorithme, ses fonctions de sécurité complètes et sa fonction autofocus à double capteur en font le choix idéal pour les applications de fabrication d'appareils.
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