Occasion GCA DSW 8500 #293639852 à vendre en France
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ID: 293639852
i-Line stepper
Illumination uniformity: <= 2.5%
System resolution: 0.8 μm L/S
Depth of focus: <= 1.25 μm
Reduction: +/- 0.10 µm
Rotation: <= 0.05 µm
Telecentricity: +/- 0.25 ppm
Global registration: +/- 0.25 µm T.I.R
Local registration: +/- 0.15 µm T.I.R
Open frame: No repeaters
Orthogonality: +/- 1.0 ppm
Stage precision: +/- 0.10 µm
Wafer levelling repeatability: +/- 10 ppm
Reticle aligner accuracy: <= 0.1 µm
Aperture blade repeatability: +/- 0.25 mm
Aperture blade skew: +/- 0.25 mm
RMS Realiability: 30 Cycles
AWH Precision: +/- 3.0 mils
AWH Reliability: 50 wafers
Focus repeatability: <= 0.30 µm T.I.R
Reduction repeatability: <= 6.0 ppm T.I.R
Optic:
Lens specification: 1635-I Tropel
Focal length: 86
Resolution: 0.8 µm
Image field: 16 mm
Wavelength: 365 mm
E.P. Location: 439 mm
Reduction: 1:5
Depth of focus: n+/- 0.75 µ.
GCA-GCA DSW 8500 Wafer Stepper est un équipement d'imagerie de haute précision qui est utilisé dans la production de circuits intégrés et de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un appareil haute résolution et haute précision qui combine des capacités d'imagerie optique et de rayons X pour obtenir une image précise, aligner et modeler des structures compliquées. GCA-DSW 8500 dispose de grandes zones de balayage pouvant atteindre 6 pouces (152 mm) par plaquette, de plusieurs étages entièrement automatisés pour l'imagerie précise et répétable, de dispositifs de mesure et d'alignement très précis pour l'imagerie à micro-échelle, et d'une architecture extensible avec la possibilité d'ajouter des étages supplémentaires et l'optique. Le système est conçu pour être convivial et nécessite un temps de mise en place minimal, avec un panneau d'opérateur complet avec une interface graphique interactive et un ensemble complet d'outils. L'unité comprend une chambre à vide qui fournit un environnement propre et sans poussière. La machine optique est pilotée par un réseau laser haute résolution, une source de rayons X et un microscope à longue distance de travail. L'outil optique est également équipé d'un processeur d'image et d'un logiciel de traitement d'image qui peuvent fournir des capacités d'analyse et d'étalonnage de données en temps réel. Le GCA-GCA DSW 8500 est alimenté par un processeur rapide et une caméra d'imagerie CCD de 8 pouces. Il est contrôlé à l'aide du logiciel intégré IMAP (Image Mounted Alignment Process) qui permet à la fois la modélisation manuelle et automatisée. La GCA-DSW 8500 présente un certain nombre de caractéristiques conçues pour assurer le maintien de la précision et la minimisation de la variabilité. Cela comprend un environnement à faible bruit, des systèmes de contrôle de mouvement pour réduire les vibrations, et des capacités d'auto-test et de diagnostic intégrées pour assurer un rendement maximal des actifs. En combinant la dernière technologie d'imagerie avec des systèmes de contrôle de mouvement avancés, GCA-GCA DSW 8500 est en mesure de fournir une imagerie haute résolution à des vitesses allant jusqu'à 3 millimètres par seconde, avec une répétabilité serrée. Ce modèle fournit une plate-forme d'imagerie fiable, répétable et de haute précision, ce qui le rend idéal pour la production de composants et d'appareils électroniques de haute précision.
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