Occasion GCA DSW 8500SE #9252320 à vendre en France
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ID: 9252320
Stepper
Lens: TROPEL 2142G (436 nm), DFAS, PPC, 5x Reduction
Illumination: Theta III, insitu, maxi 2000 pulsed
Lamp power: Rated 1050 W
MIMIR 4105 Optical energy controller
Includes:
HVAC Unit (R12)
GCA 6660S Environmental chamber
Chiller
Spare parts
~1992 vintage.
GCA DSW 8500SE est un équipement pas à pas et répétition de tranche qui est adapté à une variété d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système est chargé avec des fonctionnalités telles que la sensibilité spectrale large, ultra haute résolution, placement de motif précis, et débit rapide. L'optique UV profonde et sensible de la machine et la technologie avancée d'imagerie optique lui permettent d'exposer une large gamme de photorésistants à une large gamme de longueurs d'onde et d'épaisseurs de couches. Ceci est optimisé pour une utilisation avec des procédés lithographiques avancés. Un étage x-y à moteur pas à pas précis permet un placement précis du motif sur toute la tranche. Ceci permet d'aligner et d'enregistrer avec une précision de sous microns. La précision d'imagerie lithographique de DSW 8500SE est maintenue sur une variété d'intensités d'image et d'échelles. La conception mécanique robuste de la machine permet à l'unité de travailler avec une précision extrêmement élevée, même lorsqu'elle est exposée aux vibrations d'autres machines. Son étage fermé sous vide assure une stabilité optimale de la plaquette pendant le fonctionnement de l'étage, augmentant le débit et la fiabilité. GCA DSW 8500SE fournit un débit rapide, avec un temps de charge de la plaquette de moins de deux minutes pour obtenir une excellente uniformité de film et la stabilité de placement de l'image. Ses capacités d'imagerie avancées permettent également une échelle d'image simple et des tolérances de superposition très avancées. Les fonctionnalités conviviales de la machine comprennent un panneau de commande pour l'intensité lumineuse réglable et des écrans d'affichage faciles à lire pour le réglage rapide des paramètres d'exposition. De plus, l'outil peut être automatisé en option. Globalement, DSW 8500SE est un excellent choix de pas de plaquettes pour la fabrication de semi-conducteurs en raison de sa grande sensibilité spectrale, sa précision, sa vitesse et ses fonctionnalités conviviales. Avec une optique de pointe fiable et des performances thermiques, l'actif est un choix idéal pour les clients qui ont besoin d'un modèle de photolithographie fiable et stable.
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