Occasion GCA XLS 7800 #9246052 à vendre en France

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Fabricant
GCA
Modèle
XLS 7800
ID: 9246052
DUV Stepper NA: 0.51 4x Reduction step Repeat exposure: Laser, 248 nm.
GCA XLS 7800 est un appareil d'imagerie optique plein champ qui fournit la technologie pas à pas la plus avancée disponible pour les applications de lithographie de plaquettes. La technologie stepper combine des optiques d'exposition personnalisables et de haute précision avec une lentille de champ lumineux innovante pour améliorer la profondeur de mise au point, permettant aux utilisateurs de produire des appareils jusqu'au niveau de 12 µm avec des glissières portantes, 18 µm avec des lentilles de champ lumineux installées et 0,35 µm de dimensions minimales. Le système intègre également l'unité de contrôle d'imagerie GCA propriétaire iCentris™, un composant intégral qui permet de modifier les processus et l'imagerie haute résolution. XLS 7800 est une machine de lithographie de classe production éprouvée qui fournit un débit et une résolution très élevés. Il dispose d'un champ de plaquette complet 40mm x 40mm, avec une taille de plaquette maximale de 200mm pour le balayage et l'imagerie des plaquettes de service complet. GCA XLS offre une précision et une stabilité d'image supérieures grâce à son outil d'imagerie optique Skyfire™, un contrôleur d'alignement et d'imagerie unique. Les planches d'étalonnage Skyfire de chaque outil sont utilisées au démarrage, à l'arrêt et tout au long de chaque quart de travail pour assurer la stabilité et la répétabilité du processus. Le GCA XLS 7800 propose des optiques UV-ASMLTM tournées vers le diamant avec jusqu'à 3,4 grossissements. Cet atout optique de pointe fournit une imagerie haute résolution et un réglage précis des paramètres d'exposition pour garantir la meilleure qualité d'image. Cela est facilité par le contraste élevé et l'uniformité sur le terrain, qui sont encore améliorés par son moniteur dynamique de particules. Le XLS 7800 utilise également un modèle de réticule à changement rapide qui permet un plus grand débit et un temps de maintenance réduit. L'outil offre également une automatisation exceptionnelle, avec indexation entièrement automatisée, autofocus, reconnaissance des montures et détection des bords. La configuration de l'amplificateur s'effectue automatiquement grâce à l'option Auto-Setup incluse. L'indice et la précision de répétition sont efficacement maintenus par GCA en zigzag. GCA XLS 7800 offre également un large spectre de processus de résistance, supporte simultanément une variété de résistances sur la même plaquette, et offre une plate-forme unique pour supporter De Wafer À Reticle™ imagerie directe laser. Le XLS 7800 est un équipement d'imagerie très fiable et économique pour une large gamme d'applications de lithographie en plaquettes, offrant une solution polyvalente et riche en fonctionnalités pour les besoins de production et de recherche et développement. Il fournit un débit maximal, la précision, et le rendement du processus avec un minimum d'entretien, ce qui en fait un choix parfait pour toute opération de lithographie avancée.
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