Occasion HITACHI LD-5011iA #9085774 à vendre en France

Fabricant
HITACHI
Modèle
LD-5011iA
ID: 9085774
Taille de la plaquette: 6"
Steppers, 6" Reticle, 5".
HITACHI LD-5011iA est un pas de plaquette conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe. Ce pas de plaquette est capable de produire des images microlithographiques de 5 pouces (à 200mm) en imprimant de la lumière à travers une série de réticules alignés. Il offre des performances et une efficacité supérieures avec ses fonctions automatiques et simultanées de changement d'objectif, de projection de motifs et d'alignement. LD-5011iA est une étape et un équipement de répétition comprenant un modulateur acousto-optique pour aider au positionnement précis des réticules ainsi qu'à l'alignement des foyers. Avec ses systèmes automatisés de projection de motifs d'automatisation et d'alignement de plaquettes, il peut projeter et aligner un grand nombre de motifs sur une seule plaquette. Ce pas de tranche est équipé d'une lentille optique de projection haute résolution de pointe qui peut produire des images limitées à la diffraction d'aussi petites que 0,6 micron. En outre, HITACHI LD-5011iA dispose d'une grande vitesse et d'une grande précision, offrant des temps d'exposition maximaux avec une excellente qualité d'image. Il est également capable de supporter un large éventail d'expositions et résiste permettant à l'utilisateur d'optimiser les processus en fonction de ses besoins. Le système dispose également d'une variété de fonctions d'exposition qui peuvent être utilisées en fonction des besoins de l'utilisateur. Cela inclut le coin de sécurité sur le terrain (FSE) pour des précisions optimales de placement des motifs, l'inspection des défauts et l'inspection rapide des plaquettes. De plus, le modèle est capable de fournir un contrôle de focalisation dynamique (DFC) et une capacité de processus de tir. En outre, LD-5011iA est équipé d'une unité de refroidissement avancée, qui aide à maintenir la température et l'humidité stabilité. Cette machine est un outil de contrôle thermique avancé qui offre une meilleure homogénéité et uniformité dans toutes les conditions environnementales. Sa source laser He-Cd a été spécialement conçue pour fournir un succès de tir supérieur, l'uniformité, et la répétabilité donnant des résultats de haute qualité. Dans l'ensemble, HITACHI LD-5011iA wafer stepper est une plate-forme robuste et performante conçue pour le traitement de la microlithographie des semi-conducteurs. Avec ses nombreuses fonctionnalités et fonctions, telles que le changement automatique d'objectif, la projection et l'alignement de motifs, et le contrôle dynamique de la focalisation et du processus de prise de vue, il est un atout puissant qui peut fournir un haut débit, une excellente précision de placement de motifs, et des résultats supérieurs.
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