Occasion KOMATSU G20K2-1 #9095924 à vendre en France

KOMATSU G20K2-1 est un pas de plaquette haute performance, conçu pour positionner et aligner avec précision les photomasques avec un degré élevé de précision pour les processus de transfert d'image. Cet étage de wafer intégré et robuste utilise un dispositif logique programmable sur le terrain (FPLD) et une caméra multi-échantillons pour localiser avec précision le photomasque et créer un crosshair précis référencé à la zone de l'échantillon sur le photomasque. Le FPLD, associé à l'unité de mouvement et de commande, permet à KOMATSU G 20 K 2-1 de positionner avec précision le photomasque. Cette unité mesure le positionnement de la plaquette dans les axes X et Y et génère des données continues pour le contrôle dynamique. Un capteur de faisceau de lunettes d'environnement avec circuit de trempe d'éclairage avancé capture des données pour une mesure précise. G20K2-1 est équipé de deux jeux de micromètres pour faciliter un micro-alignement précis du photomasque. Les micromètres mesurent la distance entre le photomasque et la plaquette tous les 0,1mm, et les données sont envoyées à l'équipement de commande et au pas de plaquette pour ajuster la position et l'alignement de la photomasque. Les moteurs motorisés sont utilisés pour entraîner les micromètres. G 20 K 2-1 est également équipé d'un système de focalisation automatique et d'un dispositif d'alignement laser. L'unité auto-focus utilise une caméra CCD pour capturer les données concernant la focale de la photomasque. Ces données peuvent être utilisées pour ajuster la distance entre le photomasque et la plaquette afin d'assurer une focalisation précise. Le dispositif d'alignement laser utilise un capteur de faisceau pour analyser l'image transversale sur la photomasque depuis le bord de la plaquette. Ces données sont utilisées pour corriger le positionnement du photomasque avant le début du processus d'exposition. Afin d'améliorer encore la précision de la position et de l'alignement du photomasque, KOMATSU G20K2-1 utilise un algorithme avancé d'analyse et de correction qui élimine les défauts ponctuels dans l'image transversale. De plus, le FPLD peut être programmé pour tenir compte de différents paramètres d'exposition. KOMATSU G 20 K 2-1 est également équipé d'une machine de diagnostic et de surveillance intégrée. Cet outil surveille les performances de la machine et propose des améliorations. En outre, toutes les données et paramètres du FPLD et de l'unité de mouvement et de contrôle peuvent être transférés à une station centrale, permettant la télécommande et la surveillance de l'ensemble de l'actif. Dans l'ensemble, G20K2-1 est un pas de plaquette avancé et robuste conçu pour offrir des performances et une précision exceptionnelles pour les processus de transfert d'image. Avec ses fonctionnalités et technologies avancées, il assure le résultat le plus précis pour toute exposition aux photomasques.