Occasion NIKON G6 #293793323 à vendre en France

NIKON G6
Fabricant
NIKON
Modèle
G6
ID: 293793323
Stepper.
NIKON G6 est un pas de plaquette de haute précision fabriqué par NIKON Instruments Inc. Il est capable d'imiter avec précision une large gamme de tailles de plaquettes et de configurations de filière avec des débits élevés et des largeurs de ligne faibles. Conçu pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs, NIKON G 6 dispose également d'une linéarité supérieure des métriques de mouvement et de qualité d'image. G6 est un équipement à quatre axes qui se compose de deux étages de balayage, d'un étage de plaquette et d'un étage de détection. Les étages de balayage sont responsables du positionnement précis de la plaquette par rapport au détecteur déterminé par le système de commande. L'étage de plaquette est composé d'une plate-forme étanche au vide qui est entraînée par un palier à air et une vis à plomb à pas fin. L'étage détecteur est entraíné par un moteur pas à pas à entraínement direct qui aligne un dispositif d'imagerie cellulaire sur l'étage de plaquette. G 6 est capable d'imiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. La machine a une résolution XY de 0,01 µm et une résolution Z de 0,001 µm, avec un jeu Z wafer-to-detector de 5 mm. De plus, NIKON G6 a une planéité globale de 0,5 µm, ce qui le rend apte à l'imagerie haute quantité et haute précision. Le NIKON G 6 comprend également une vaste liste d'optiques intégrées, dont une lentille de transformée de Fourier verticale et un capteur CCD double ligne. G6 dispose également d'un certain nombre de fonctionnalités avancées et de composants optionnels qui le rendent idéal pour l'alignement de précision et l'imagerie. Ces caractéristiques comprennent un outil d'auto-collimation, un contrôle d'exposition 1D informatisé et des capacités programmables d'alignement laser et de microscope. Parmi les autres caractéristiques avancées, mentionnons un étage XY motorisé à grande vitesse intégré, des marquages de registre pour l'alignement des images et des marques fiduciaires pour un balayage reproductible et précis. De plus, G6 est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre et possède également un atout de couplage pour l'alignement critique entre plaquettes et détecteurs. Il a également la capacité de contrôler les temps d'exposition et la vitesse d'obturation de l'image, et de réduire les distorsions de la gigue et de l'image. Enfin, NIKON G6 propose une interface de communication Ethernet pour la télécommande et la surveillance. NIKON G 6 est un pas de plaquette idéal pour l'industrie des semi-conducteurs, car il offre des mesures de qualité d'image supérieure, une linéarité de mouvement de précision, et une large gamme de caractéristiques de support. Avec ses différents composants et ses fonctionnalités avancées, G6 est capable de produire des images de plaquettes précises et de haute qualité avec un excellent débit.
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