Occasion NIKON G7 #293793324 à vendre en France

NIKON G7
Fabricant
NIKON
Modèle
G7
ID: 293793324
Stepper.
NIKON G7 est un pas de lithographie optique haut de gamme utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est équipé d'une optique lithographique avancée, d'une précision d'alignement, d'un étage XY de précision et d'un équipement de transport de plaquettes à grande vitesse. Le NIKON G7 est équipé d'un CCD de 6M pixels, d'une puissante lampe au mercure de 100W et d'une grande ouverture numérique (NA) de 0,7. Le système peut capturer des caractéristiques plus fines et fournir le débit le plus élevé dans les configurations les plus exigeantes des plaquettes de production de semi-conducteurs. G7 a deux modes d'exposition : le mode de séparation du faisceau, dans lequel le faisceau focalisé est utilisé à la fois pour l'exposition et l'alignement, et le mode à faisceau unique, dans lequel seule l'exposition est utilisée. Les deux modes utilisent une stratégie d'exposition unique qui combine une faible dose d'exposition et une productivité élevée. G 7 dispose d'un design de scène XY unique qui offre une très haute précision dans tous les axes. Il est capable d'une précision d'alignement de 2,5 µm, même à des vitesses élevées. De plus, les bords du champ de vision sont ronds et continus, offrant une meilleure qualité d'image et une meilleure couverture des plaquettes. L'unité de balayage dispose d'une grande zone de balayage qui permet un chevauchement de champ maximal et une uniformité uniforme dans toute la plaquette. Le mouvement de balayage est encore amélioré par trois systèmes de sous-balayage très avancés : deux pour piloter l'étage selon trois axes, et un pour effectuer le profilage. La machine de transport des plaquettes NIKON G7 est équipée d'un système de serrage et de décollement des plaquettes à grande vitesse et de transferts de plaquettes à grande vitesse. Tous les entraînements sont linéaires, éliminant les vibrations, le bruit et l'usure. Les moteurs d'entraînement sont capables de fournir jusqu'à 8 phases de moteur pour assurer des vitesses jusqu'à 500mm/s. NIKON G 7 est équipé d'un outil d'exécution de tâches à part entière qui peut facilement s'intégrer et fonctionner avec des logiciels et des systèmes de contrôle tiers. L'actif prend également en charge le fonctionnement de l'écran tactile et l'intégration des tests de routine tels que la dimension critique et les mesures des fenêtres de processus. Dans l'ensemble, G7 est un puissant pas de plaquette qui offre un haut niveau de précision et de débit pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques uniques, il est un excellent choix pour toute ligne de production.
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