Occasion NIKON i10C #9300131 à vendre en France

NIKON i10C
Fabricant
NIKON
Modèle
i10C
ID: 9300131
Stepper.
NIKON i10C est un pas de plaquette haute performance utilisé pour des applications de microlithographie. Le stepper est capable de produire des motifs très précis et précis avec une précision d'alignement pas à pas de 0,07 μm (micron) ou moins. NIKON I 10 C offre une gamme plus large d'outils d'imagerie et de technologies d'exposition, comme le laser pulsé, l'optique avancée et les masques haute résolution, offrant aux utilisateurs plus de flexibilité et une qualité d'image optimisée. I10C utilise un équipement de pas à pas haute vitesse et haute précision NWashington StepMC qui utilise un système de positionnement avec une précision de 0,03 μm et une vitesse d'étage allant jusqu'à 1,30 m/s2 pour déplacer rapidement la plaquette. Cela garantit que la plaquette est positionnée rapidement et avec précision avant l'exposition, ce qui permet un dosage efficace et reproductible. I 10 C est équipé d'objectifs NIKON propriétaires Super HR (High-Resolution) qui offrent un contraste d'image amélioré, un champ de vision large, et une imagerie haute résolution pour fournir des motifs supérieurs. L'objectif 40x de NIKON i10C a une ouverture numérique réglable jusqu'à 1,6, et l'objectif 42x a une ouverture numérique réglable jusqu'à 2,2, ce qui le rend adapté aux applications nécessitant une imagerie haute résolution. NIKON I 10 C offre plusieurs technologies d'exposition, y compris l'exposition laser pulsée avancée et l'exposition EX. EX Exposure utilise un générateur cible pour réduire le temps d'exposition et augmenter considérablement le débit tout en améliorant la qualité de l'image. I10C dispose également d'optiques avancées, telles que des atténuateurs, des filtres à densité neutre, des convertisseurs en mode polarisation et des systèmes d'imagerie, améliorant encore la qualité de l'imagerie. I 10 C dispose d'une unité de manutention de plaquettes entièrement automatisée, équipée d'un bateau de plaquettes et d'une fonction d'échange automatisé de plaquettes. La machine peut manipuler différents types de plaquettes de tailles variables, de petits substrats de moins de 200mm à de grands substrats de plus de 300mm. Il est également capable de traiter un large éventail de matériaux tels que le silicium, le verre et les matières plastiques. NIKON i10C est équipé de l'outil de contrôle complet NIKON SEECmaticTM, qui dispose d'une interface graphique intuitive et d'une base de données de paramètres de recette de processus pour des opérations faciles et efficaces. L'actif offre également des capacités de contrôle de processus en ligne et de maintenance à distance, permettant aux utilisateurs de maximiser le temps de disponibilité et la productivité. Enfin, le modèle fait l'objet de contrôles et d'essais rigoureux conformément aux normes internationales de sécurité pour l'assurance de la qualité.
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