Occasion NIKON i11D #293797472 à vendre en France

NIKON i11D
Fabricant
NIKON
Modèle
i11D
ID: 293797472
Stepper.
NIKON i11D est un pas de plaquette multi-couches et haute résolution fabriqué par NIKON Corporation. Il est conçu pour le traitement lithographique de haute précision des micropuces dans l'industrie des semi-conducteurs, et il est l'un des steppers les plus avancés disponibles. Il offre une grande précision d'alignement, une précision d'exposition supérieure et des caractéristiques de recouvrement supérieures, permettant une production précise des structures les plus complexes. NIKON I 11 D a une résolution maximale de 0,1 micromètre, ce qui permet une reproduction lithographique précise et une fabrication optimale des micropuces. Il prend en charge la conception d'appareils avec des fonctionnalités fines ligne/espace jusqu'à 0,11 µm, et jusqu'à 0,25 µm pour les structures 3D. Son équipement optique permet une large gamme de longueurs d'onde d'exposition allant des ultraviolets (UV) aux spectres d'ultraviolets profonds (DUV). Son système de caméra d'alignement avancé avec des caractéristiques microscopiques détecte des caractéristiques aussi petites que 2 µm, et son unité de synchronisation de lithographie automatique assure la plus grande précision pour chaque couche motivée. I11D a un grand étage, mesurant 350 mm x 350 mm, et peut traiter de grandes plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre. Il est également équipé d'une machine de manutention de plaquettes spécialisée pour une plus grande douceur dans les étapes pendant le battage. Cela permet de réaliser des expositions multiples dans un processus unique qui permet d'économiser du temps et des coûts de traitement des plaquettes. De plus, I 11D dispose d'un outil de nettoyage spécialisé pour la préparation du substrat, et d'un microscope très précis pour l'inspection et la surveillance du motif du substrat. Cette capacité d'inspection et de surveillance assure l'optimisation de chaque résultat de fabrication. Il comprend également un atout d'auto-ajustement unique pour changer le niveau de mise au point pour différentes épaisseurs de couches et pour assurer la meilleure qualité de traitement. Dans l'ensemble, NIKON i11D est un puissant pas de tranche de nouvelle génération qui fournit des performances fiables pour des procédés de fabrication de micropuces très avancés. Sa haute résolution, sa large gamme de longueurs d'onde d'exposition, ses systèmes de manutention et de nettoyage puissants et ses capacités d'inspection précises en font un excellent choix pour obtenir de superbes résultats en lithographie.
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