Occasion NIKON i11D #293805260 à vendre en France
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NIKON i11D est un pas de plaquette avancé, conçu pour les caractéristiques de pas et de résolution des dispositifs semi-conducteurs avancés. En combinant les fonctions avancées des composants optiques, mécaniques et électroniques, NIKON I 11 D wafer stepper est capable de travailler avec une large gamme de tailles de plaquettes et d'applications de processus. La conception mécanique de i11D stepper wafer dispose d'un entraînement à 1 axismoteur avec une table X/Y, permettant un positionnement précis de la surface de la plaquette pour une exposition optimale. L'axe 1 est entraíné par un moteur microstepping, et un codeur moteur résistif associé à un contrôleur permet une résolution jusqu'à 6nm de la table X/Y. L'étage de wafer est la norme pour l'industrie, avec une plage de déplacement totale de 320mm X 100mm. I 11 D wafer stepper offre une large gamme de capacités de processus, y compris le dépôt de pulvérisateurs, l'oxydation thermique, et le transfert de motifs. Il est conçu pour utiliser deux systèmes de mouvement à 4 axes pour assurer un transfert précis du motif sur le substrat. Le premier axe de mouvement est monté sur la table X/Y et est entraíné par le moteur microstepping, tandis que le second axe est monté sur l'unité de chambre et entraíne l'axe. Cette combinaison offre une surface de travail maximale de 4,0 mm sur 40,0 mm. L'équipement optique de l'étage NIKON i11D wafer est conçu pour l'imagerie haute résolution Le système utilise un illuminateur de faisceau incliné, en conjonction avec une caméra CCD, pour capturer le motif. La caméra CCD est conçue pour l'imagerie haute résolution et fournit une résolution de 7,5 nm. L'unité optique peut également être intégrée à différents systèmes d'amélioration d'image, tels que les lasers UV, pour améliorer encore les capacités d'imagerie. De plus, l'étage NIKON I 11 D comprend un étage de vide pouvant contenir jusqu'à 100 plaquettes à la fois. I11D wafer stepper comprend une interface utilisateur intuitive qui peut être facilement navigué par les opérateurs de machines, les ingénieurs et les techniciens. La machine offre une interface graphique utilisateur (interface graphique) en temps réel qui permet une configuration et un fonctionnement rapides et précis du processus. De plus, l'outil offre la possibilité de stocker et de reproduire des recettes de processus. Dans l'ensemble, I 11 D wafer stepper est un atout avancé pour le fab semi-conducteur qui offre une large gamme de capacités de processus. Ses composants mécaniques, optiques et électroniques de pointe offrent une manipulation et une imagerie précises des plaquettes, tandis que son interface utilisateur intuitive assure des opérations efficaces. Sa combinaison de caractéristiques en font un équipement hautement souhaitable pour l'industrie de la fabrication.
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